光学学报, 2018, 38 (7): 0731002, 网络出版: 2018-07-16
沉积工艺对YbF3薄膜可靠性的影响
Influence of Deposition Process on Reliability of YbF3 Thin Films
图 & 表
冯毅东, 于天燕, 刘定权. 沉积工艺对YbF3薄膜可靠性的影响[J]. 光学学报, 2018, 38(7): 0731002. 冯毅东, 于天燕, 刘定权. Influence of Deposition Process on Reliability of YbF3 Thin Films[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(7): 0731002.