激光与光电子学进展, 2020, 57 (17): 173401, 网络出版: 2020-09-01
不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响 
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Effect of Different Substrate Materials on Focusing Beam Performance of EUV Collector
基本信息
| DOI: | 10.3788/LOP57.173401 |
| 中图分类号: | TN304 |
| 栏目: | X射线光学 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项（2012ZX02702001） |
| 收稿日期: | 2019-12-13 |
| 修改稿日期: | 2019-12-16 |
| 网络出版日期: | 2020-09-01 |
| 通讯作者: | 吴晓斌 (wuxiaobin@ime.ac.cn) |
| 备注: | -- |
谢婉露, 吴晓斌, 王魁波, 罗艳, 王宇. 不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(17): 173401. Wanlu Xie, Xiaobin Wu, Kuibo Wang, Yan Luo, Yu Wang. Effect of Different Substrate Materials on Focusing Beam Performance of EUV Collector[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(17): 173401.
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