不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响

谢婉露; 吴晓斌; 王魁波; 罗艳; 王宇

doi:doi:10.3788/LOP57.173401

激光与光电子学进展, 2020, 57 (17): 173401, 网络出版: 2020-09-01

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Effect of Different Substrate Materials on Focusing Beam Performance of EUV Collector

谢婉露吴晓斌 ^*王魁波罗艳王宇

作者单位

中国科学院微电子研究所光电技术研发中心, 北京 100029

补充材料

谢婉露, 吴晓斌, 王魁波, 罗艳, 王宇. 不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(17): 173401. Wanlu Xie, Xiaobin Wu, Kuibo Wang, Yan Luo, Yu Wang. Effect of Different Substrate Materials on Focusing Beam Performance of EUV Collector[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(17): 173401.