激光与光电子学进展, 2020, 57 (17): 173401, 网络出版: 2020-09-01
不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响 下载: 965次
Effect of Different Substrate Materials on Focusing Beam Performance of EUV Collector
X射线光学 极紫外 极紫外收集镜 基底材料 热变形 聚焦性能 X-ray optics extreme ultraviolet extreme ultraviolet collector substrate material thermal deformation focusing performance
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