作者单位
摘要
1 南京邮电大学 集成电路科学与工程学院, 南京 210023
2 南京邮电大学 射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室, 南京 210023
应用日益广泛的可穿戴设备要求其中的传感器件可拉伸、可弯曲,因此柔性传感器已受到人们的重视。文章对柔性压力传感器的微结构、材料、制备工艺等方面进行了综述,重点总结了现阶段柔性传感器所采用的各种结构,比较了天然微结构、仿生表面微结构、多孔结构、多级结构、多层结构柔性压力传感器的重要性能。介绍了目前常用的柔性基底材料和导电活性材料,对比了光刻技术、3D打印等制造工艺的优缺点,对柔性压力传感器的未来研究方向进行了展望。文章对相关柔性器件的研究具有较高的理论价值和工程参考意义。
柔性压力传感器 微结构 柔性基底材料 3D打印 flexible pressure sensor microstructure flexible substrate material 3D printing 
微电子学
2023, 53(2): 295
作者单位
摘要
1 省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室,天津 300130
2 河北工业大学机械工程学院,天津 300130
为提高三维打印技术制备M2高速钢刀具材料的力学性能及改善微观组织,促进金属刀具材料三维打印技术的发展,采用激光选区熔化技术,在不同基板材料和铺粉速度下制备M2高速钢试样。对试样力学性能以及微观组织进行表征与观察。结果表明:与M2高速钢基板相比,316L不锈钢基板的热膨胀系数高约57.27%,热导率低17.28%,制备过程中产生的热应力显著降低并且冷却缓慢使残余应力释放更充分,因此采用316L不锈钢基板更有利于成型M2高速钢试样。铺粉速度减小,打印过程中实时热处理时间将大大增长,这导致材料硬度略有下降但微观组织更加致密,裂纹、孔隙等缺陷减少,拉伸强度升高。经试验得到的试样洛氏硬度最高可达(58.97±0.28)HRC,拉伸强度能够达到(937±118)MPa。微观组织呈现网状结构且其中存在大量马氏体柱状晶,针宽小于1 μm,主要物相有α-Fe、马氏体、奥氏体以及MC型碳化物。
材料 激光选区熔化 基板材料 铺粉速度 M2高速钢 力学性能 
激光与光电子学进展
2023, 60(1): 0116004
作者单位
摘要
中国科学院微电子研究所光电技术研发中心, 北京 100029
仿真分析了不同基底材料对极紫外辐照损伤研究系统中收集镜聚焦性能的影响,包括熔融石英、SiC和AlSi。与熔融石英、SiC等陶瓷材料基底相比,AlSi基底收集镜的导热性能较高,但在极紫外辐照损伤研究系统中,对于300 mm直径的收集镜,当加载10 W功率时,AlSi基底收集镜反射面最高温升为1.39 ℃。尽管AlSi膨胀系数大于熔融石英和SiC,导致收集镜反射面发生最高为3.51 μm结构变形,且相对于理想无变形收集镜,波像差增加8.071λ以及光斑均方根半径增加0.028 μm,但AlSi基底收集镜满足极紫外辐照损伤系统的要求。AlSi基底收集镜可用于非成像系统或对成像质量要求不高的系统中,尤其在大口径、复杂面形的收集镜实现上具有明显优势。
X射线光学 极紫外 极紫外收集镜 基底材料 热变形 聚焦性能 
激光与光电子学进展
2020, 57(17): 173401
作者单位
摘要
1 首都师范大学物理系, 北京 100048
2 北京大学工学院, 北京 100871
作为一种新兴的方式, 太赫兹时域光谱和成像已经被广泛应用到研究不同生物组织的光学特性。 在空气等离子体处施加偏置电场对太赫兹波脉冲进行外差式相干检测(air-biased-coherent-detection, ABCD)的太赫兹系统具有超宽频带和可以在较远距离进行成像的优点, 十分适用于对生物组织进行超宽谱研究, 而对生物组织进行光谱测量通常需要基底材料。 利用太赫兹ABCD系统对四种典型的基底材料(石英, 高密度聚乙烯, 聚四氟乙烯和石蜡)的光学参数进行测定, 并计算其在1~15 THz频率范围内的吸收系数和折射率。 结果表明, 高密度聚乙烯和石蜡可以很好的被用作生物组织超宽频带太赫兹光谱测量的基底材料。 同时, 虽然石英和聚四氟乙烯都是窄带(01~3 THz)太赫兹系统中常用的基底材料, 但是由于它们在高于5 THz的频率范围内对太赫兹波具有较强的吸收, 所以不能用作超宽频带太赫兹光谱测量的基底材料。
超宽频带太赫兹光谱 基底材料 生物应用 Broadband terahertz spectroscopy Substrate material Biological application 
光谱学与光谱分析
2017, 37(2): 346
作者单位
摘要
1 合肥工业大学电子科学与应用物理学院, 安徽 合肥 230009
2 安徽省立医院胸心外科,安徽 合肥 230001
3 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽 合肥 230031
用脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜的实验。首先,衬底温度分别取室温、200 ℃、400 ℃和600 ℃在Si衬底上沉积类金刚石薄膜;其次,衬底温度分别取400 ℃和600 ℃在316L医用不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对各种参数的薄膜样品进行检测。结果表明: 在其它实验参数不变的条件下,衬底材料的改变不会导致薄膜微观结构发生明显改变;但是衬底温度升高将导致薄膜中sp2键和sp3键含量的减少、sp3/sp2比值减小、非晶态的sp2键向石墨相的转化并发生晶化、石墨晶粒的数量增多或体积增大。
脉冲激光沉积法 类金刚石薄膜 衬底材料 衬底温度 微观结构 pulsed laser deposition diamond like carbon film substrate material substrate temperature microstructure of the film 
应用激光
2014, 34(6): 546
作者单位
摘要
首都师范大学物理系太赫兹光电子学教育部重点实验室北京市太赫兹波谱与成像重点实室, 北京 100048
利用时域有限差分法对不同材料和厚度衬底上矩形孔金属结构太赫兹(THz)波的透射特性进行了数值分析。研究表明:矩形孔金属阵列对THz光谱具有频率选择特性,这为太赫兹滤波功能器件的开发提供了基础。在实际应用中,这种金属微结构常常需要制备在某种衬底上,而衬底材料及厚度无疑会对其太赫兹透射特性带来影响。研究了不同衬底材料和衬底厚度的矩形孔金属结构太赫兹透射性质,通过数值模拟研究发现,对于同一种衬底材料,随着衬底厚度的增加,矩形孔金属结构的透射峰峰位向低频移动。比较高阻硅和聚四氟乙烯两种衬底材料发现,高介电常数的硅衬底引起的透射峰移动更为明显。
光学器件 太赫兹 时域有限差分 衬底材料 衬底厚度 
光学学报
2012, 32(11): 1130001
作者单位
摘要
华中科技大学电子科学与技术系, 湖北 武汉 430074
利用射频磁控溅射方法在玻璃和聚酰亚胺膜(PI)衬底上沉积了氧化铝质量分数为2%的掺铝氧化锌透明导电薄膜(ZnO∶Al)。系统地研究了不同衬底材料对薄膜的结构、电学以及光学性能的影响。分析表明,衬底材料对薄膜的结晶性和电学性能有较大的影响,对可见光透射率却影响不大。X射线衍射(XRD)分析得出所有的ZnO∶Al具有良好的c轴择优取向性,在可见光区(400~800 nm)两种衬底上的薄膜都达到了85%的透射率。玻璃衬底上的薄膜呈现出更强的(002)衍射峰及相对更小的半峰全宽(FWHM),薄膜电阻率达到了2.352×10-4 Ω·cm。电镜分析表明,相对于PI上的ZnO∶Al膜,玻璃上ZnO∶Al膜表面有更致密的微观结构及更大的晶粒尺寸。PI衬底上的ZnO∶Al膜也有相对较好的电、光学性能,其中电阻率达到了6.336×10-4 Ω·cm,而且由于PI衬底柔性可弯曲,使得它适于在柔性太阳电池和柔性液晶显示中做窗口层材料及透明导电电极。玻璃上的ZnO∶Al膜则可应用在平板显示和太阳电池技术中。
薄膜 ZnO∶Al薄膜 射频磁控溅射 衬底材料 聚酰亚胺衬底 
激光与光电子学进展
2012, 49(4): 043102
刘一兵 1,2,*
作者单位
摘要
1 湖南大学 电气与信息工程学院,长沙 410082
2 邵阳职业技术学院 机电工程系,湖南 邵阳 422000
建立了功率型LED的有限元热学模型,选择Al2O3,AlN,AlSiC,铜钼合金四种基板材料,采用ANSYS热分析软件仿真不同基板材料的温度场和热应力分布,得出如下结论:AlN基板的结温和热阻最低,结温达到120℃时所加的热载荷值最大;最大热应力主要集中在芯片与基板的界面附近,AlN基板的最大热应力最低。因此,AlN材料是较理想的基板材料。
功率型LED 基板材料 ANSYS软件 power type LED substrate material ANSYS software 
半导体光电
2011, 32(5): 646
OLED封装技术进展下载:656次
作者单位
摘要
电子科技大学光电信息学院, 四川 成都 610054
有机电致发光器件(OLED)因具有较多的优点,在显示领域有着光明的前景,其最大的优越性在于能够实现柔性显示,制作成柔性有机电致发光二极管(FOLED)。OLED对水蒸气和氧气非常敏感,渗透进入器件内部的水蒸气和氧气是影响OLED寿命的主要因素,因此,封装技术对器件非常重要。对现有的主要的FOLED衬底材料和封装方法进行了总结,分析各种衬底材料和封装方法的优缺点。阐述了最新研究工作中柔性衬底的选择和新型封装方法的进展。
光学器件 有机电致发光器件 柔性有机电致发光 衬底材料 封装方法 
激光与光电子学进展
2011, 48(9): 092302
王鹏 *
作者单位
摘要
华中光电技术研究所武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430073
在分析单层和多层衍射元件衍射效率的基础上,推导出光学系统中多层衍射元件浮雕深度和基底材料的一般关系式,并对这些变量进行优化,得到阿贝数的值大致在20~80之间,β的合理值在0.25~0.6之间,当2个衍射元件的阿贝数v1<v2,且差值比较大时,阿贝数小的衍射元件的基底材料选择光学玻璃中的火石玻璃,阿贝数大的衍射元件的基底材料选择光学玻璃中的冕牌玻璃。根据这个方法,设计了3组可实现宽波段高衍射效率的不同材料、不同浮雕深度的组合,使得每组组合中两层衍射元件的衍射效率都在99%以上。
多层衍射元件 衍射效率 基底材料 浮雕深度 宽波段 multi-layer diffractive element diffractive efficiency substrate material relief depth broad wave band 
应用光学
2009, 30(3): 382

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!