作者单位
摘要
1 南京邮电大学 集成电路科学与工程学院, 南京 210023
2 南京邮电大学 射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室, 南京 210023
应用日益广泛的可穿戴设备要求其中的传感器件可拉伸、可弯曲,因此柔性传感器已受到人们的重视。文章对柔性压力传感器的微结构、材料、制备工艺等方面进行了综述,重点总结了现阶段柔性传感器所采用的各种结构,比较了天然微结构、仿生表面微结构、多孔结构、多级结构、多层结构柔性压力传感器的重要性能。介绍了目前常用的柔性基底材料和导电活性材料,对比了光刻技术、3D打印等制造工艺的优缺点,对柔性压力传感器的未来研究方向进行了展望。文章对相关柔性器件的研究具有较高的理论价值和工程参考意义。
柔性压力传感器 微结构 柔性基底材料 3D打印 flexible pressure sensor microstructure flexible substrate material 3D printing 
微电子学
2023, 53(2): 295
作者单位
摘要
中国科学院微电子研究所光电技术研发中心, 北京 100029
仿真分析了不同基底材料对极紫外辐照损伤研究系统中收集镜聚焦性能的影响,包括熔融石英、SiC和AlSi。与熔融石英、SiC等陶瓷材料基底相比,AlSi基底收集镜的导热性能较高,但在极紫外辐照损伤研究系统中,对于300 mm直径的收集镜,当加载10 W功率时,AlSi基底收集镜反射面最高温升为1.39 ℃。尽管AlSi膨胀系数大于熔融石英和SiC,导致收集镜反射面发生最高为3.51 μm结构变形,且相对于理想无变形收集镜,波像差增加8.071λ以及光斑均方根半径增加0.028 μm,但AlSi基底收集镜满足极紫外辐照损伤系统的要求。AlSi基底收集镜可用于非成像系统或对成像质量要求不高的系统中,尤其在大口径、复杂面形的收集镜实现上具有明显优势。
X射线光学 极紫外 极紫外收集镜 基底材料 热变形 聚焦性能 
激光与光电子学进展
2020, 57(17): 173401
作者单位
摘要
1 首都师范大学物理系, 北京 100048
2 北京大学工学院, 北京 100871
作为一种新兴的方式, 太赫兹时域光谱和成像已经被广泛应用到研究不同生物组织的光学特性。 在空气等离子体处施加偏置电场对太赫兹波脉冲进行外差式相干检测(air-biased-coherent-detection, ABCD)的太赫兹系统具有超宽频带和可以在较远距离进行成像的优点, 十分适用于对生物组织进行超宽谱研究, 而对生物组织进行光谱测量通常需要基底材料。 利用太赫兹ABCD系统对四种典型的基底材料(石英, 高密度聚乙烯, 聚四氟乙烯和石蜡)的光学参数进行测定, 并计算其在1~15 THz频率范围内的吸收系数和折射率。 结果表明, 高密度聚乙烯和石蜡可以很好的被用作生物组织超宽频带太赫兹光谱测量的基底材料。 同时, 虽然石英和聚四氟乙烯都是窄带(01~3 THz)太赫兹系统中常用的基底材料, 但是由于它们在高于5 THz的频率范围内对太赫兹波具有较强的吸收, 所以不能用作超宽频带太赫兹光谱测量的基底材料。
超宽频带太赫兹光谱 基底材料 生物应用 Broadband terahertz spectroscopy Substrate material Biological application 
光谱学与光谱分析
2017, 37(2): 346
作者单位
摘要
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033
对透射式和反射式扩束系统应用于高功率激光扩束的优缺点进行了对比研究。采用次镜为凸抛物面,主镜为凹抛物面的无焦卡塞格林系统,运用ZEMAX光学设计软件,按激光扩束系统的扩束倍率和系统的波像差要求,设计出多波段高功率激光扩束系统。对用于高功率激光反射镜的基底材料进行分析,选用无氧铜作为基底材料;采用金增强的膜系设计,膜系从近红外到远红外宽光谱波段激光的反射率均在98%以上。面形精度均方根值优于λ/40(λ=0.632 8 μm)的平面镜作为基准镜,采用光学干涉方法对设计的激光扩束系统进行检测实验,结果表明:该扩束系统的扩束倍率为3.53,波像差为0.206λ,满足多波段高功率激光光束发射要求。
多波段 扩束系统 基底材料 无氧铜 膜系 综合热性能比值 multi-band expand system base material copper coating synthesis performance ratio 
强激光与粒子束
2011, 23(7): 1785
作者单位
摘要
浙江工业大学激光与光电子技术研究所, 浙江 杭州 310023
塑料光纤在成本、光纤到户和短距离通信等方面与石英光纤相比具有优越性。在塑料光纤基底中掺入某些光放大介质(如量子点),可以制备出塑料光纤放大器。目前,对于量子点掺杂的塑料光纤材料的光学性能的研究还很少。报导了一种以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为基底的CdSe量子点光纤材料CdSe/PMMA。紫外可见近红外吸收谱以及荧光辐射谱测量表明,制备的CdSe量子点的尺寸单分散性较好,CdSe/PMMA的发射峰比CdSe的发射峰宽,其半峰全宽加宽了约10 nm。在波长为473 nm的激光持续照射下,CdSe/PMMA的荧光辐射强度不断增强,约12 h后发光强度趋稳,峰值强度增加约1倍,同时,荧光峰值波长出现蓝移,约25 nm,没有回复现象。由于CdSe/PMMA具有强荧光辐射和宽光谱的特点,因此有可能是一种较为理想的宽光谱光纤基底材料。
材料 纤芯基底材料 CdSe量子点 聚甲基丙烯酸甲酯 荧光增强 蓝移 
光学学报
2011, 31(3): 0316002
王鹏 *
作者单位
摘要
华中光电技术研究所武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430073
在分析单层和多层衍射元件衍射效率的基础上,推导出光学系统中多层衍射元件浮雕深度和基底材料的一般关系式,并对这些变量进行优化,得到阿贝数的值大致在20~80之间,β的合理值在0.25~0.6之间,当2个衍射元件的阿贝数v1<v2,且差值比较大时,阿贝数小的衍射元件的基底材料选择光学玻璃中的火石玻璃,阿贝数大的衍射元件的基底材料选择光学玻璃中的冕牌玻璃。根据这个方法,设计了3组可实现宽波段高衍射效率的不同材料、不同浮雕深度的组合,使得每组组合中两层衍射元件的衍射效率都在99%以上。
多层衍射元件 衍射效率 基底材料 浮雕深度 宽波段 multi-layer diffractive element diffractive efficiency substrate material relief depth broad wave band 
应用光学
2009, 30(3): 382

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