作者单位
摘要
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
本文针对传统投影光栅相位法的光学三角法模型进行了改进, 采用直入射光路并配合使用一种简便易行的标定方法, 只需使用相移公式求取相位差, 而不会引入与系统几何位置关系有关的量, 简化了求取高度矩阵的要求。实验结果表明, 新系统模型精度良好, 测量误差为0107 mm。采用该模型和标定方法可以克服传统方法系统模型的局限性, 最大限度减少误差源并提高抗干扰性。
三维轮廓 光栅投影 相位 标定 系统模型 3D profile grating projection phase calibration system model 
中国光学
2015, 8(2): 248

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