1 苏州大学应用技术学院，江苏 苏州215325
2 同济大学 航空航天与力学学院，上海 200092
近年来，为了使加工技术更加精准、无误差，各国研究者投入到了微加工领域的研究。而飞秒激光以其极高的峰值、较小的损伤阈值、高的聚焦力，使其成为国内外在微加工领域的热点研究对象。总结了近年来飞秒激光在微加工领域的研究进展，并从微加工金属材料、集成光学、生物医疗、纳米加工领域进行综述，最后指出飞秒激光发展到现在所存在的问题及对未来的期想。
微加工 飞秒激光 损伤阈值 集成光学 micromachining femtosecond laser damage threshold integrated optics
