筑波大学 数理物质科学研究科 伊藤研究室, 日本 筑波 3050005
随着平板显示技术的发展, 透明电极ITO膜的厚度越来越薄。为了测试这种极薄的ITO膜, 本文通过改进已有的频域分析算法, 以便测试膜厚在20~150 nm之间的ITO膜。与现有算法相比, 该算法有效改进了各个波长的位相解析精度。实验结果表明, 待测透明电极薄膜的厚度为90～104 nm, 其结果和标定值一致, 证明了该算法能够测量膜厚小于100 nm的透明电极ITO薄膜。
白光干涉 频域分析 测量 厚度 透明电极 white light interferometry frequency domain analysis measurement thickness transparent electrode
