1 淮阴师范学院物理与电子电气工程学院, 江苏 淮安 223300
2 淮安市微纳光学成像重点实验室, 江苏 淮安 223300
基于透过式低相干光学干涉系统,提出了一种精密调节光程的方法,以测量透镜的中心厚度。利用一对楔形棱镜,将接近垂直于光轴方向的低精度直线移动转化为沿光轴方向的高精度直线移动,实现了高精度的光程调节。楔形棱镜的楔角角度决定了光程差的调节精度,楔角角度越小,光程差调节精度越高。使用5°30'的楔角棱镜组和精度为5 μm的直线移动装置,实现了光轴方向精度小于0.5 μm的移动调节,测量透镜中心厚度的精度在0.9 μm以内。所提方法提高了干涉条纹的对比度,可以测量各种类型透镜的中心厚度,也便于扩大测量厚度范围。
测量 透镜中心厚度 低相干光干涉 楔形棱镜组 光程补偿 激光与光电子学进展
2019, 56(12): 121201
1 南京理工大学近程高速目标探测技术国防重点学科实验室, 江苏 南京 210094
2 淮阴师范学院江苏省现代检测技术与智能系统重点建设实验室, 江苏 淮安 223300
针对传统的采用发散照明的相位测量轮廓术投影到参考面上的光场产生畸变的情况, 提出一种利用逆推法从参考面上的位置坐标与光栅条纹坐标分布之间的映射关系建立投影光栅模型的方法, 确保校正光栅投影到参考面上的条纹满足周期性分布。通过相位-高度映射关系恢复出被测物体的面形分布。该方法无须像传统测量方法一样将相位-高度之间的映射关系以数据表形式存储在计算机中, 放宽了系统测量的约束条件, 简化了测量装置, 并能实现高精度测量。计算机模拟和实验均证实了该方法的有效性。
测量 三维测量 光栅投影 相位测量轮廓术 逆推法 激光与光电子学进展
2017, 54(1): 011202
筑波大学 数理物质科学研究科 伊藤研究室, 日本 筑波 3050005
随着平板显示技术的发展, 透明电极ITO膜的厚度越来越薄。为了测试这种极薄的ITO膜, 本文通过改进已有的频域分析算法, 以便测试膜厚在20~150 nm之间的ITO膜。与现有算法相比, 该算法有效改进了各个波长的位相解析精度。实验结果表明, 待测透明电极薄膜的厚度为90～104 nm, 其结果和标定值一致, 证明了该算法能够测量膜厚小于100 nm的透明电极ITO薄膜。
白光干涉 频域分析 测量 厚度 透明电极 white light interferometry frequency domain analysis measurement thickness transparent electrode
