1 淮阴师范学院物理与电子电气工程学院, 江苏 淮安 223300
2 淮安市微纳光学成像重点实验室, 江苏 淮安 223300
基于透过式低相干光学干涉系统,提出了一种精密调节光程的方法,以测量透镜的中心厚度。利用一对楔形棱镜,将接近垂直于光轴方向的低精度直线移动转化为沿光轴方向的高精度直线移动,实现了高精度的光程调节。楔形棱镜的楔角角度决定了光程差的调节精度,楔角角度越小,光程差调节精度越高。使用5°30'的楔角棱镜组和精度为5 μm的直线移动装置,实现了光轴方向精度小于0.5 μm的移动调节,测量透镜中心厚度的精度在0.9 μm以内。所提方法提高了干涉条纹的对比度,可以测量各种类型透镜的中心厚度,也便于扩大测量厚度范围。
测量 透镜中心厚度 低相干光干涉 楔形棱镜组 光程补偿 激光与光电子学进展
2019, 56(12): 121201
