1 大连理工大学光电工程与仪器科学学院光学工程博士后流动站， 辽宁 大连 116000
2 大连大学物理科学与技术学院， 辽宁 大连 116000
3 大连日佳电子有限公司， 辽宁 大连 116000
印刷电路板组件在生产过程中存在锡膏错位、少锡和破损等问题从而导致产品质量下降，因此高精度锡膏检测对提高良品率有重要意义，在行业内受到广泛的重视。目前普遍采用的相位轮廓测量法需将光栅条纹投影到PCBA上，通过检测条纹的畸变来发现电路板的缺陷，而条纹投影精度很大程度上决定了系统的检测精度。因此设计一个高质量的投影物镜，是完成这一类检测所必需的。采用光发光二极管(LightDiode，LD)作为照明光源，镜头结构采用经典双高斯形式，并利用Zemax软件进行优化。设计结果表明镜头性能接近衍射极限，其调制传递函数(Modulation Transfer Function，MTF)在30 lp/mm处均在0.4以上，最大畸变小于0.3%。该镜头实现了光栅条纹的高精度投影，设计结果和方法可以对电子装备制造业中的光学仪器设计等领域提供参考。
光栅投影 双高斯结构 相位轮廓法 衍射极限 光学设计 grating projection double Gaussian structure phase profile method diffraction limit optical design
1 长春理工大学空间光电技术研究所，吉林 长春 130022
2 长春理工大学光电工程学院，吉林 长春 130022
3 长春理工大学现代光学测试研究室，吉林 长春 130022
光学相控阵技术是一种新型的光束偏转技术，具有扫描快、抗干扰、分辨率高和高保密性等优点，但栅瓣的存在一直是光学相控阵研究的瓶颈问题之一。综述了光学相控阵的历史、原理、发展现状和趋势，说明了栅瓣的影响，并在原有消除栅瓣方法基础上提出了一种新型的方法来消除栅瓣，即改变非规则光学相控阵的入射光相位，此方法有效地抑制了光学相控阵的栅瓣，最后讨论了三种方法的优缺点，并对发展前景进行了展望。
光学器件 光学相控阵 栅瓣 optical device optical phased array grating lobe
1 长春理工大学光电工程学院, 长春 130022
2 长春理工大学空间光电技术研究所, 长春 130022
激光调阻机用于对片式电阻阻值进行微调, 其调阻精度主要取决于扫描镜头的光学聚焦性能。根据实际使用需求, 本文设计了两组不同工作波长 (1 064 nm和 532 nm)的 F-Theta扫描镜头, 视场角分别为 ±28°和±25°; 聚焦光斑直径分别为 30 μm和 10 μm。最终设计结果表明：两组镜头像散值在像差容限范围内, 满足平像场要求; F-Theta相对畸变均小于 0.1％; 光能利用率达到 90％以上; 聚焦性能接近衍射极限。两组镜头结构简单紧凑, 方便互换与装卡, 能够满足激光调阻要求。
激光调阻 F-Theta镜头 畸变 衍射极限 光学设计 laser resistor trimming F-Theta lens distortion diffraction-limited optical design
