红外光谱差减技术在扣除背景组份干扰方面得到广泛应用, 但其扣除空气中水汽效果却不尽如人意。 研究了不同湿度的水汽光谱与光谱差减效果的关系, 以探究光谱差减技术在水汽扣除领域局限性的原因。 结果表明: （1）相对湿度改变, 水汽的红外光谱也发生变化, 不管如何小心地选择比例系数f, 从相对湿度x%的水汽光谱Ax%, 也不能完全扣除相对湿度为y%的水汽光谱Ay%, 即fAx%≠Ay%。 （2）相对湿度改变, 水分子团簇(H2O)n的相对组成也会发生变化, 这是导致光谱差减技术局限性的主要原因。 （3）将湿度为x%和y%的两水汽光谱Ax%和Ay%进行线性组合, 则可以高度近似地模拟出介于两者之间的湿度的水汽光谱。 比如用40%水汽谱和30%水汽谱, 可以模拟得到32%或35%或37%的水汽谱。 实验结果表明这是扣除水汽干扰效果更好的路径。 （4）论证了水汽补偿湿度滴定法具有高效性的原因。