作者单位
摘要
昆明物理研究所,云南 昆明 650223
液相外延是碲镉汞(MCT)薄膜生长领域最成熟的一种方法,被众多红外探测器研究机构和生产商所采用。然而由于MCT材料自身属性和具体制备工艺的原因,液相外延生长过程中不可避免地会产生各种缺陷,从而降低红外探测器的性能。为了增加对液相外延MCT薄膜中缺陷的认识,并对具体的生长工艺提供指导性建议,基于已报道的文献总结了液相外延MCT薄膜中所存在一些缺陷的特征以及形成机理和消除方法。对各类缺陷的形成机理和消除方法进行探讨和评估,有助于提高MCT薄膜液相外延的水平,为制造高性能MCT探测器做好材料技术支撑。
碲镉汞材料 液相外延 缺陷形成机理 缺陷消除方法 mercury cadmium telluride liquid-phase epitaxy formation mechanism of defects defects elimination methods 
红外与激光工程
2023, 52(7): 20220804
作者单位
摘要
昆明物理研究所,云南 昆明 650223
在富Te生长条件下,采用垂直布里奇曼法(vertical Bridgman method, VB)生长的部分碲锌镉 (Cdi—xZn”Te, CZT)晶体内存在导电类型转变界面。为深入探讨碲锌镉晶体导电类型转变界面形成的 原因,结合晶体导电类型和红外光谱透过率的测试结果与第一性原理的理论计算进行分析,结果表明, 碲锌镉晶体内的导电类型转变界面是晶体生长过程中形成的Cd空位(Vcd)缺陷与Cd间隙(CdJ缺 陷导致的。在富Te条件的生长过程中,Cd空位缺陷易于形成,碲锌镉晶体材料中含有大量的Cd空 位缺陷,材料的导电型为p型。在晶体生长结束阶段的降温过程中,Cd原子会扩散至碲锌镉晶体中, 促进了 Cd间隙缺陷的形成,在碲锌镉晶体材料中形成Cd间隙缺陷,导致晶体材料的导电性转变为n 型。
碲锌镉 导电类型转变 Cd空位 扩散 Cd1-xZnxTe, position-dependent conductivity transi 
红外技术
2022, 44(6): 560
作者单位
摘要
昆明物理研究所,云南昆明 650223
“燕尾”状缺陷是异质外延碲镉汞薄膜中一种形状、朝向统一的典型缺陷,本文对“燕尾”状缺陷的表面形貌、结构及形成机理进行了表征及研究。结果表明,在碲镉汞薄膜表面,“燕尾”状缺陷以两条凸起的“燕尾”边为特征形貌。在碲镉汞薄膜中,“燕尾”状缺陷为倒金字塔结构,由(11ˉ1ˉ) 1ˉ1ˉ1 (11ˉ1)(111ˉ) 四个底面与(211)表面围成。“燕尾”状缺陷为(552)A孪晶缺陷,(552)A孪晶与(211)A基体间不同的生长速率导致了缺陷的形成。碲镉汞晶体中12个滑移系统间不同的Schmid因子决定了(552)A孪晶成核生长于1ˉ1ˉ1 (11ˉ1)面,也决定了“燕尾”状缺陷的表面形貌及结构。
碲镉汞 缺陷 孪晶 极性面 施密特因子 HgCdTe defect twin crystal polar surface Schmid factor 
红外与毫米波学报
2020, 39(6): 690
作者单位
摘要
昆明物理研究所, 云南 昆明 650223
采用 Petritz双层薄膜结构模型, 用化学腐蚀的方法分离 MBE外延双色 HgCdTe薄膜, 测试并验证了双层模型对中短双色 MBE外延 HgCdTe薄膜中各层的霍尔参数计算的有效性, 给出了测量不确定度评定以及相对误差。实验表明, MBE外延双层 HgCdTe薄膜中的中波薄膜层电导率及霍尔系数的扩展不确定度范围分别为 0.33~0.41 .·cm和 61~113 cm3/C, 置信概率为 95%, 与对比样品的中波膜层霍尔参数相比, 载流子浓度及霍尔迁移率的相对误差分别小于 20%和 10%。
双层膜 HgCdTe薄膜 霍尔参数 扩展不确定度 double-layer film MBE MBE HgCdTe film Hall parameters extended uncertainty 
红外技术
2018, 40(9): 847
作者单位
摘要
1 昆明物理研究所, 云南 昆明 650223
2 中国人民解放军驻 298厂军代室, 云南 昆明 650114
制作了 2种形式的铟凸点:即直接蒸发沉积的铟柱和将铟柱回流得到的铟球。分别讨论了铟柱和铟球对倒装互连的影响,着重讨论了铟球和铟柱分别和芯片倒装互连后的剪切强度,结果发现在互连未回流的状态下铟球的剪切强度是铟柱的 1.5倍,回流后铟球的剪切强度是铟柱的 2.8倍。此外,分析讨论了长时间放置在空气中的铟球对倒装互连的影响,结果发现长时间放置在空气中的铟球和芯片互连后,器件的电学与机械连通性能会受到很大的影响。
铟凸点 铟柱 铟球 倒装互连 indium bump indium column indium ball flip-chip 
红外技术
2016, 38(4): 310

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