王思媛 1,2刘虹遥 1,*路鑫超 1,**黄成军 1,2,***
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心,北京 100029
2 中国科学院大学集成电路学院,北京 100049
等离激元纳米孔将等离激元天线与固体纳米孔结合,可限制待测物路径,并将入射光能聚集至路径中产生热点,从而增强场与待测物质的相互作用,在纳米尺度范围内实现高灵敏度检测,近年来已被广泛应用于单分子检测研究。本文概述了几种典型等离激元纳米孔结构及其场增强效果;分析讨论了4种目前常用的基于等离激元纳米孔的高灵敏度检测技术及其特点,包括荧光检测、表面拉曼增强光谱、表面等离激元共振位移传感以及光电结合方法;综述了等离激元纳米孔在脱氧核糖核酸(DNA)、蛋白质、肽等单分子光学检测方面的应用进展及典型成果;讨论和展望了等离激元纳米孔的未来研究趋势以及面临的机遇和挑战。
表面光学 表面等离激元 纳米孔 光学检测 单分子检测 
中国激光
2023, 50(1): 0113012
霍童 1,4王靓安 2王雪 1,3孙晓娟 1,3[ ... ]黄成军 1,3,***
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心,北京 100029
2 上海交通大学生物医学工程学院,上海 200240
3 中国科学院大学,北京 100049
4 北京建筑大学理学院,北京 102616
表面等离激元共振显微成像(SPRM)技术具有高灵敏度、快速实时等优点,已经被广泛应用于纳米检测、生物医学和环境监测等领域中。由于倏逝场的界面传输特性,故SPRM具有特殊的点扩散函数,可从其中提取出丰富的待测物信息。然而,离焦成像会影响成像特征,导致无法准确获取待测物信息。因此,定量研究离焦对SPRM的影响至关重要。通过仿真计算与实验,定量研究了离焦对SPRM的影响,并实现了单个聚苯乙烯颗粒的SPRM成像。所提方法可用于SPRM离焦状态的快速判断,并反推出准确的离焦偏移量,实现快速对焦,改善SPRM技术在长时程观测中的性能。
表面光学 表面等离激元共振显微成像 单纳米颗粒 离焦 干涉条纹 定量分析 
光学学报
2022, 42(23): 2324001
王畅 1,2王雪 1,2孙旭晴 1魏茹雪 1,2[ ... ]黄成军 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心, 北京 100029
2 中国科学院大学, 北京 100049
基于棱镜耦合的波长调制表面等离激元共振(SPR)传感器只能在长波段获得较高检测灵敏度,无法兼顾检测范围与检测灵敏度。研究了一种基于物镜耦合激发表面等离激元的波长-角度共同调制的SPR传感装置,使用物镜耦合使角度易于调节,这提高了SPR传感器在短波处的检测灵敏度,从而在较大检测范围内实现了高灵敏度折射率测量。通过理论仿真与实验,使用波长-角度共同调制的SPR传感方法对不同浓度的葡萄糖溶液的折射率进行测量,动态检测范围为4.4×10 -2 RIU,检测灵敏度达到5066.97 nm/RIU。相较于波长调制SPR传感方法,使用波长-角度共同调制的SPR传感方法在检测范围不变的情况下,检测灵敏度提高了2.5倍。该检测方法实现了对折射率高灵敏度、高动态检测范围的快速检测,可广泛应用在生物医学及食品安全等领域。
表面光学 表面等离激元共振 折射率测量 波长调制 角度调制 
光学学报
2021, 41(17): 1724001
高雅增 1,2,4吴鹿杰 1,5卢维尔 1,2,4,*刘虹遥 1,2,**[ ... ]韩立 3
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
2 中国科学院大学微电子学院, 北京 101407
3 中国科学院电工研究所, 北京 100080
4 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心, 北京 100029
5 北京交通大学理学院, 北京 100044
菲涅耳波带片(FZP)能实现光源聚焦,是硬X射线显微成像最重要的组成元件之一。分辨率与衍射效率是FZP最重要的两个参数,但在实际设计与制备中,两者往往难以同时兼顾。因此,提出了一种基于严格耦合波理论的硬X射线FZP设计方法。该方法在指定分辨率的基础上优化衍射效率,给出了硬X射线FZP组成材料、环带宽度、外径、厚度以及厚度控制精度等参数的优化值。同时考虑到材料色散的影响,给出了最优衍射效率随光源能量变化的分布情况,为显微成像中的光源选择提供了参考。
成像系统 菲涅耳波带片 分辨率 衍射效率 严格耦合波 硬X射线 
光学学报
2021, 41(11): 1111002
王雪 1,2刘虹遥 1路鑫超 1,2孙旭晴 1[ ... ]黄成军 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院 微电子研究所, 北京 100029
2 中国科学院大学, 北京 100049
为了同时满足较大的视场和较高分辨率的需求, 开发了一套全息无透镜显微成像系统和配套算法, 实现对微米级样品的无透镜显微成像。搭建了一套由LED光源、针孔、被测样品与CMOS图像传感器组成的全息无透镜显微成像系统, 并对针孔直径、成像面尺寸、光源到样品的距离, 以及样品面到CMOS图像传感器的距离进行了优化。其次, 开发了从系统采集的全息图中恢复样品图像的角谱法算法。最后, 使用该成像系统和配套算法, 分别对具有微米级结构分辨率测试靶, 和肺癌细胞悬浮液进行了显微成像。该全息无透镜显微成像系统的分辨率为4.4 μm, 成像视场尺寸为5.7 mm×4.3 mm, 实现了微米级结构和肺癌细胞较清晰的显微成像。全息无透镜显微成像系统结构简单、无像差干扰, 可以实现大视场下较高分辨率的显微成像。
无透镜成像 全息图像重建 细胞成像 大视场 lens-free imaging hologram reconstruction cell imaging large field of view 
光学 精密工程
2020, 28(8): 1644
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心, 北京 100029
2 中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 北京 100029
3 中国科学院大学, 北京 100049
4 北京交通大学, 北京 100044
5 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心, 北京 100029
6 集成电路测试技术北京市重点实验室, 北京 100088
提出一种对化学气相沉积法生长石墨烯缺陷的快速检测方法。利用化学气相沉积法制备石墨烯并将其转移到目标基底上,制备出应用于表面等离激元(SPP)成像的石墨烯-金基底。SPP对界面处折射率变化具有高灵敏度,可以实现石墨烯边缘检测,并且石墨烯表面缺陷会引起SPP作用场的变化,利用SPP泄漏辐射效应将界面处SPP作用场变化传输至远场,使用CCD进行快速成像,可实现对转移后石墨烯的快速成像与检测。该方法检测到石墨烯边缘与表面的形貌信息,并且检测到颗粒污染物,避免了传统的检测方法灵敏度低、速度慢、有损检测等弊端,实现了对石墨烯缺陷的快速、无损检测。
表面光学 单晶石墨烯 表面等离激元成像 缺陷检测 快速无损检测 
光学学报
2019, 39(11): 1124002
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 北京 100029
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 集成电路测试技术北京重点实验室, 北京 100088
介绍了一种利用倏逝波界面散射对单个纳米颗粒进行无标记成像的方法。分别使用全内反射(TIR)倏逝波与表面等离激元(SPPs)两种倏逝波与单个纳米颗粒相互作用,激发纳米颗粒极化并发生散射,所产生的界面散射与入射倏逝波发生干涉,形成了纳米颗粒极化场与抛物线形干涉条纹的特征成像。分别对直径为500,200,100 nm的聚苯乙烯颗粒进行了单个纳米颗粒无标记成像。比较了两种倏逝波界面散射对单个纳米颗粒成像结果,发现表面等离激元界面散射成像中的单个纳米颗粒极化强度约是全内反射极化强度的10倍,并且接近于暗场成像。因此,表面等离激元界面散射对单个纳米颗粒无标记成像具有更高灵敏度。所提单个纳米颗粒无标记成像方法可以拓展到病毒检测、生物单分子成像等领域。
表面光学 无标记成像 单个纳米颗粒 倏逝波界面散射 全内反射 表面等离激元 
光学学报
2018, 38(6): 0624001

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