对于弱吸收薄腹,当薄膜和基底的折射率在一定数值范围内时,含有吸收比的公式可以用来计算薄膜的消光系数.该式不能用来计算已经没有干涉效应的厚的强吸收膜的消光系数.
吸收 薄膜
在PQSA式消光型椭偏仪基础上,把原来方位固定的1/4波片改为旋转波片就可以构成与消光式兼容的新型光度椭偏仪。本文讨论了这种光度椭偏仪的工作原理和计算公式。理论分析指出,这是一种完全的椭偏仪,能唯一地确定的符号,并在测量线偏光的时精度不会下降。文中还报告了进行原理性实验的结果。
椭偏术
本文提出了根据多个周期的Δ、ψ轨迹来判别薄膜折射率非均匀性的原则。实验结果表明CeF_3、LaF_3、NdF_3薄膜基本上是均匀的。而热基板沉淀的Zns不但具有两侧表面层,还具有折射率渐增的中心层。文中还分析了用常规椭偏法测量ZnS等薄膜时误差的分布和大小。
椭圆偏振法 薄膜光学
首先把对称周期的等效折射率推广到复数范围,然后利用复变函数公式来计算截止带中的反射率.文中用导纳轨迹图来说明复数等效折射率的合理性和完整性.文中还给出了反射率随等效折射率变化的曲线图,利用它可以方便地查出反射率值.
我们在真空镀膜机上装置了一套旋转检偏器式的自动光度椭圆偏振仪,对蒸发中的薄膜进行实时偏振测量。然后从偏振参数Δ,ψ随厚度变化的轨迹中分析折射率的非均匀性情况。实验结果表明,ZnS和ZnSe都具有近100的内表面过渡层和外表面过渡层,中间则基本是均匀膜层。
