为了获得红外低折射率材料的光学常数，采用电子束热蒸发技术在多光谱硫化锌基底上以不同的基底温度分别制备了单层氟化钇(YF₃)和氟化镱(YbF₃)薄膜。通过分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪分别测试其在可见至远红外波段的透射率光谱曲线，使用包络法和色散模型拟合相结合的方法对其在可见至红外波段的光学常数进行了反演，得到了其在0.4~14 μm波段内的折射率与消光系数。采用椭偏测试结果验证了YF₃和YbF₃薄膜在0.4~1.6 μm波段内的光学常数正确性；将拟合得到的光学常数代入TFCalc 膜系设计软件，计算得到的单层薄膜的透射率光谱曲线与实测的光谱曲线吻合较好。实验结果表明，该方法获得的在超宽光谱0.4~14 μm范围内的光学常数准确、可靠。

为获得薄膜金属玻璃在可见-近红外波段的光学常数，采用真空磁控溅射技术在Si基底上制备Zr基（ZrCuNiAl（64.13∶15.75∶10.12∶10%at））薄膜金属玻璃.使用椭圆偏振光谱仪测量了样品在三个不同入射角的椭偏参数，并用Drude-Lorentz双振子模型对测出的椭偏参数进行拟合，得到薄膜在可见-近红外波段的光学常数与膜厚.用掠入射X射线反射法进一步测量样品的膜厚以验证椭圆偏振光谱仪测量结果的可靠性.结果表明，两种方法测出的样品膜厚一致，Drude-Lorentz双振子模型很好地描述了Zr基薄膜金属玻璃样品在可见-近红外波段的光学特性.在可见-近红外波段，样品在同一波长的椭偏参数Ψ和Δ随入射角增大而减小，介电常数实部为负值且随波长增大而减小，介电常数虚部为正值且随波长增大而增大；样品折射率明显小于消光系数，且折射率在1 070 nm处出现极大值，消光系数则在1 070 nm附近出现拐点，表明金属玻璃兼具一般金属和玻璃的光学性能.本文研究结果对Zr基及其它薄膜金属玻璃光学特性的研究和测量具有一定指导作用.