1 西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室，西安 710072
2 西北工业大学 陕西省微纳机电系统重点实验室，西安 710072
基于体硅微加工技术，设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅，对该光栅进行优化设计，并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布，采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%，比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上，最大工作闪耀角为6.84°；当532 nm波长垂直入射时，0~10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
微型可编程光栅 闪耀角可调 硅微加工 微机电系统 衍射效率 Micro programmable gratigns Tunable blazed angle Silicon micromachining Microelectromechanical systems Diffraction
报道了作者近年来在美国斯坦福大学直接参与合作研制的100～1000 μｍ可调谐远红外自由电子激光器概况,以及研制过程中所运用的独创的新技术。文中对它的主要部件扭轨(Wiggler)磁体的新型设计和磁场特性进行了深入的分析和研究。
自由电子激光 扭轨磁体 电子枪和电子束线系统 远红外激光
