1 西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室，西安 710072
2 西北工业大学 陕西省微纳机电系统重点实验室，西安 710072
基于体硅微加工技术，设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅，对该光栅进行优化设计，并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布，采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%，比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上，最大工作闪耀角为6.84°；当532 nm波长垂直入射时，0~10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
微型可编程光栅 闪耀角可调 硅微加工 微机电系统 衍射效率 Micro programmable gratigns Tunable blazed angle Silicon micromachining Microelectromechanical systems Diffraction
上海交通大学 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系, 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 薄膜与微细技术教育部重点实验室, 上海200240
为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工, 运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术, 以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺, 通过合理安排工艺流程, 实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术。并将其应用于扑翼微飞行器的加工, 得到了一个翼展3cm, 最小尺寸为80μm的飞行器样机。
紫外激光 非硅微加工 碳纤维加工 扑翼微飞行器 UV laser non-silicon micromachining technology carbon fiber processing flapping-wing micro air vehicle
1 齐齐哈尔大学 通信与电子工程学院, 黑龙江 齐齐哈尔 161006
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室, 上海 200083
3 齐齐哈尔大学 计算中心, 黑龙江 齐齐哈尔 161006
针对电化学湿法刻蚀硅微加工需求, 基于LabVIEW软件开发平台, 利用上位机、可编程直流稳压电源PSM-6003、低温控制和LED光辐照等设备搭建了一种新型可编程电化学湿法刻蚀装置。其中基于LabVIEW的PSM-6003上位机控制软件, 可以通过图形界面对系统各种参数实时设置, 例如刻蚀电压幅值、刻蚀脉冲频率和占空比、刻蚀电流和刻蚀时间以及刻蚀系统的辅助光照和环境温度等, 系统各参数监控和动作执行主要利用美国NI公司PCI-6221数据卡实现。该系统成本低、操作简便、可模块化安装, 对促进实验室电化学湿法刻蚀微加工设备的研制有重要借鉴意义。
硅微加工平台 电化学湿法刻蚀 可编程脉冲 低温控制 光辐照设备 silicon micromachining electrochemical wet etching programmable pulse low temperature control light irradiation equipment
微机械陀螺因其微型化、低成本等优点，广泛用于微系统的姿态稳定与控制系统。研究了无驱动结构硅微机械陀螺的信号处理技术。通过硬件电路和软件算法及补偿技术，将旋转载体的滚动、俯仰和偏航的三维姿态角速度信号同时提取并输出。该陀螺可用于旋转载体的姿态测量和控制技术领域。
无驱动 硅微机械 陀螺 传感器 non-driven silicon micromachining gyro sensor
1 哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江 哈尔滨 150001
2 哈尔滨工业大学 微系统与微结构制造教育部重点实验室,黑龙江 哈尔滨150001
分别以硅和不锈钢材料为极板研制了两种结构简单、体积小、比能量密度高的微型直接甲醇燃料电池,并介绍了该电池的工作原理和结构。利用光刻、溅射和腐蚀等MEMS技术完成了硅基微型直接甲醇燃料电池的制作,实验测试表明,在室温条件下,使用1.5mol/L甲醇溶液供液时其开路输出电压为520mV,最大输出功率密度达到5.9mW/cm2；利用非硅微加工技术完成的不锈钢微型直接甲醇燃料电池,在室温下用2mol/L甲醇溶液供液时开路输出电压为650mV,最大输出功率密度达到15.8mW/cm2
甲醇燃料电池 硅基技术 非硅微加工 微机电系统 最大功率密度 methanol fuel cell silicon-based technology non-silicon micromachining techonology MEMS peak power density
