1 河南理工大学机械与动力工程学院, 河南 焦作 454000
2 中国科学院光电技术研究所自适应光学重点实验室, 四川 成都 610209
提出了一种应变反馈式压电驱动光学偏转器。首先介绍压电光学偏转器的机械结构及内部组成原理, 光学偏转器内部集成两个应变反馈式压电驱动器, 来实现对镜面的驱动及其角位移测量。然后自准直仪用于校准偏转器, 获得的偏转精度为0.05′, 并进行一系列开闭环实验以验证定位和跟踪性能。实验结果表明：在开环模式下, 30 min的定位时间内出现12.60%的蠕变, 对变幅值三角波的偏转跟踪误差占偏转量程的13.70%；在闭环模式下, 蠕变基本得到消除, 对变幅值三角波的偏转跟踪误差占偏转量程的4.31%。因此所设计的压电光学偏转器结构合理, 性能稳定, 具有较好的工程应用价值。
光学器件 应变反馈 压电光学偏转器 迟滞 蠕变 激光与光电子学进展
2017, 54(8): 082301
