作者单位
摘要
河南理工大学 机械与动力工程学院,河南焦作454000
为了研究微/纳米技术在光学、精密加工和精确定位等领域的应用,提出了一种线性偏摆复合型压电微动平台,以实现线性运动和偏摆运动。对平台的组成和工作原理进行阐述,建立两种运动的数学模型,并进行运动性能仿真。根据拟定的尺寸加工出样机,对样机的运动能力和频响特性进行测试。最后,通过比例积分微分(Proportional Integral Derivative, PID)反馈实现对平台的跟踪控制。仿真和实验结果表明:该平台具有良好的运动精度和解耦性,一阶固有频率可以达到333.8 Hz,能够实现24.924 μm的线性运动和1.330 mrad的角度摆动,实现了微/纳米级别的运动,在精密光学、精确定位等领域具有广阔的应用前景。
微动平台 线性运动 偏摆运动 柔性机构 数学模型 micro-motion platform linear motion yaw motion flexible mechanism mathematical model 
光学 精密工程
2022, 30(9): 1058
作者单位
摘要
1 湖北工业大学 电气与电子工程学院, 湖北 武汉 430068
2 湖北科技学院 电子与信息工程学院, 湖北 咸宁 437100
3 六盘水师范学院 电气工程学院, 贵州 六盘水 553004
该文采用时域有限差分法(FDTD)设计了一种具有阶梯槽结构的人工表面等离激元(SSPPs)型带通微波滤波器。滤波器由4部分组成, 其中第二部分(阶梯阻抗槽)是过渡部分, 新颖的周期性排列的阶梯阻抗槽设计可增强微波波段亚波长的束缚效果, 提高带通SSPPs滤波器的通带特性和抗电磁干扰能力。该文还利用FDTD法对微波频率范围内的SSPPs滤波器的透射和反射特性进行了研究。结果表明, 通过调整阶梯阻抗槽结构的几何尺寸及传输线中耦合间隙参数, 可以灵活地控制滤波器的带宽和抑制特性, 滤波器具有很强的抗空间电磁干扰能力。
人工表面等离激元(SSPPs) 微波滤波器 阶梯阻抗槽 计算机模拟 带通滤波器 SSPPs microwave filter stepped impedance slot computer simulation band pass filter 
压电与声光
2020, 42(1): 8
作者单位
摘要
1 河南理工大学机械与动力工程学院, 河南 焦作 454000
2 中国科学院光电技术研究所自适应光学重点实验室, 四川 成都 610209
提出了一种应变反馈式压电驱动光学偏转器。首先介绍压电光学偏转器的机械结构及内部组成原理, 光学偏转器内部集成两个应变反馈式压电驱动器, 来实现对镜面的驱动及其角位移测量。然后自准直仪用于校准偏转器, 获得的偏转精度为0.05′, 并进行一系列开闭环实验以验证定位和跟踪性能。实验结果表明:在开环模式下, 30 min的定位时间内出现12.60%的蠕变, 对变幅值三角波的偏转跟踪误差占偏转量程的13.70%;在闭环模式下, 蠕变基本得到消除, 对变幅值三角波的偏转跟踪误差占偏转量程的4.31%。因此所设计的压电光学偏转器结构合理, 性能稳定, 具有较好的工程应用价值。
光学器件 应变反馈 压电光学偏转器 迟滞 蠕变 
激光与光电子学进展
2017, 54(8): 082301
秦志明 1,2,*冒立军 1赵贺 1,2汤梅堂 1[ ... ]乔舰 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院 近代物理研究所, 兰州 730000
2 中国科学院大学, 北京 100049
实验研究了HIRFL-CSRm中电子冷却装置对C6+,Ar15+两种束流寿命的影响。首先, 通过对比实验的测量确定电子冷却可以有效提高束流寿命; 其次, 探究了电子冷却装置中的各项参数(主要是电子束密度分布、流强、能量、绝热展开因子)是如何影响束流寿命的, 通过改变电子束参数, 测量束流寿命的变化趋势和规律, 并且结合电子冷却相关理论对实验结果给予解释, 最终通过实验优化和确定最佳的冷却装置参数, 使束流在HIRFL-CSRm上获得了较高的寿命, 从而提高HIRFL-CSRm束流累积过程中的流强增益。
束流寿命 复合 电子冷却 重离子 加速器 beam lifetime recombination electron cooling heavy ion accelerator 
强激光与粒子束
2017, 29(8): 085106
王耿 1,2,3,*官春林 1,2张小军 1,2周虹 1,2,3饶长辉 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院 光电技术研究所, 四川 成都 610209
2 中国科学院 自适应光学重点实验室, 四川 成都 610209
3 中国科学院大学, 北京 100049
基于有限元分析设计了一种利用应变片进行位移反馈的微型精密压电驱动器。该驱动器采用位移放大机构对微小应变进行放大, 通过测量应变电桥的输出间接地测量出驱动器的微小位移。标定实验显示该传感器的精度为80 nm。虽然该应变反馈式压电驱动器是一种含有迟滞特性的复杂受控对象, 但是在准静态条件下PID算法可以对其进行有效的闭环控制。分别进行了准静态的定位实验和跟踪实验, 结果表明, PID控制算法对本驱动器的控制效果比较理想。在定位试验中, 定位效果与开环相比有明显提高, 定位误差不超过0.059 μm; 单频正弦信号跟踪误差不超过0.085 μm; 多频正弦信号跟踪误差不超过0.092 μm。 实验证明了该方法在准静态条件下的有效性。
压电陶瓷 压电驱动器 迟滞 应变反馈 PID控制 定位精度 piezoelectric ceramic piezoelectric actuator hysteresis strain feedback PID control positioning precision 
光学 精密工程
2013, 21(3): 709

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