载波芯片(COC)是光发射次模块的重要组成部分,随着芯片制造工艺的进步,COC向着微型化、高密度的方向发展,缺陷的种类变得更加复杂多样,基于传统图像处理方法的光学检测技术已无法满足COC多类别缺陷检测的需求。为此,将YOLOV3网络引入到COC的典型缺陷(崩口、定位柱破损以及波导污渍)检测。针对波导污渍缺陷目标较小,且不同类型缺陷之间尺度变化较大的问题,改进了原有YOLOV3的特征提取网络,兼顾目标的多尺度特性设计了4个检测尺度,并通过增强特征融合来改进多尺度检测;利用K-means方法对数据集进行聚类分析,选取优化的初始先验框。实验结果表明,本文基于改进YOLOV3的COC缺陷检测方法YOLOV3-COC对于COC崩口、定位柱破损以及波导污渍这三类缺陷检测的准确性达到97.4%。

采用V掺杂半绝缘6H-SiC单晶衬底材料制备了平面电极型大功率SiC光导开关，用强度为150 μJ/mm2、波长为355 nm的脉冲激光对开关进行触发，在1~14 kV的外加电压范围内对光导开关的耐压特性、导通电阻等性能进行了研究。结果表明: 随着开关外加电压的升高，开关的电流峰值呈现不断增大的趋势，当开关外加电压为14 kV时，电流峰值达185 A，对应的光导开关峰值功率为2.59 MW，开关的导通电阻约为22 Ω。

机械抖动激光陀螺(MDRLG)信号是两路相位差为π/2的正弦拍频信号，一般采用4倍频鉴相输出计数脉冲，利用FIR滤波和抖动剥除等方法解调抖动信号，从而得到外界输入的角速度信息。高速采集MDRLG信号，并细分为相位依次相差π/16的16路信号，实现MDRLG的8倍频、16倍频和32倍频鉴相输出。输出角速率的均方差随着倍频数的提高而减小，信号处理的分辨率得到提高。实验测试和Allan方差分析表明: 32倍频时的量化误差Q从4倍频鉴相时的0.327″减小到0.170″，增加MDRLG信号鉴相的倍频数可以减小量化误差。在对MDRLG信号进行抖动剥除解调时，由于量化误差是主要误差源之一，高分辨率信号处理能够有效提高MDRLG角速度测量的精度。

基于精英保留策略的遗传算法具有良好的全局寻优能力和很强的鲁棒性，基于Levenberg-Marquardt算法的非线性最小二乘法具有快速、高效的局部收敛能力。研究了将这两种算法结合起来求解多层膜光学常数和厚度的可行性和有效性。结果表明: 基于两种算法的组合反演算法综合了这两种算法的优点，能以较大的概率、较高的精度找到在实际约束条件下多层膜的光学常数和厚度，特别是在寻找全局最优解方面表现出色。根据全光谱透射拟合法基本原理，应用组合反演算法分别在考虑测量误差与不考虑测量误差两种情况下反演15层规整高反膜的光学常数和厚度，得到了较为精确的薄膜参数。模拟实验表明: 此组合反演算法可有效地求解多层膜反演问题，在反演多层膜光学常数和厚度方面具有实际的应用价值。