菲佐干涉仪中如存在多光束干涉现象，干涉光强将不再是严格的余弦分布形式。在导出菲佐干涉仪中多光束干涉光强公式的基础上，给出了将其近似为理想多光束干涉光强公式的条件。推导了对多光束相移干涉图用四幅算法求解的相位计算误差，并据此提出了基于π/4相移平均的多光束干涉相位提取算法：通过采集相移间隔π/4的两组干涉图序列，将两次计算得到的相位值平均来抑制由多光束干涉引入的误差。在存在相移随机误差的条件下，模拟了参考面具有不同反射系数时的相位计算误差。用菲佐干涉仪检测反射系数较高的反射镜，采集22幅相移干涉图计算波面数据，结果表明：常规相移算法计算得到的波面数据中存在明显的4倍条纹周期的波纹误差，而采用基于重叠四步平均法的π/4相移平均方法可以有效地抑制多光束干涉造成的波纹误差影响。

研制了斐索式红外干涉仪，口径为120 mm，配置F/1,F/4标准球面锗透镜，用于检测红外非球面透镜的非球面面形和波像差质量。干涉仪中采用两个红外探测器分别形成对点、测试两路成像光路，并配合光栅尺，实时监测标准镜和被测件的方位，解决了红外光不可见性带来的测试中装夹调整的困难。采用在线标定的方法，实现了大伸长量移相器的标定。使用干涉仪检测了红外非球面透镜的质量，并标定了系统误差。检测结果表明,干涉仪的测量精度均方根(RMS)值优于0.01λ，测量重复性RMS优于0.002λ。