南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
研制了斐索式红外干涉仪，口径为120 mm，配置F/1,F/4标准球面锗透镜，用于检测红外非球面透镜的非球面面形和波像差质量。干涉仪中采用两个红外探测器分别形成对点、测试两路成像光路，并配合光栅尺，实时监测标准镜和被测件的方位，解决了红外光不可见性带来的测试中装夹调整的困难。采用在线标定的方法，实现了大伸长量移相器的标定。使用干涉仪检测了红外非球面透镜的质量，并标定了系统误差。检测结果表明,干涉仪的测量精度均方根(RMS)值优于0.01λ，测量重复性RMS优于0.002λ。
测量 红外干涉仪 双视场 非球面 光栅尺
