北京石油化工学院新材料与化工学院, 北京 102617
采用磁控溅射法在ITO玻璃上制备了CdZnTe薄膜, 探究机械磨抛对CdZnTe薄膜阻变特性的影响。通过对XRD图谱、Raman光谱、AFM显微照片等实验结果分析阐明了机械磨抛影响CdZnTe薄膜阻变特性的物理机制。研究结果表明, 磁控溅射制备的薄膜为闪锌矿结构, F43m空间群。机械磨抛提高了CdZnTe薄膜的结晶质量; CdZnTe薄膜粗糙度(Ra)由磨抛前的3.42 nm下降至磨抛后的1.73 nm; 磨抛后CdZnTe薄膜透过率和162 cm-1处的类CdTe声子峰振动峰增强; CdZnTe薄膜的阻变开关比由磨抛前的1.2增加到磨抛后的4.9。机械磨抛提高CdZnTe薄膜质量及阻变特性的原因可能是CdZnTe薄膜在磨抛过程中发生了再结晶。
磁控溅射 机械磨抛 粗糙度 表面缺陷 阻变特性 再结晶 CdZnTe CdZnTe magnetron sputtering mechanical grinding and polishing roughness surface defect resistive switching characteristic recrystallization
中国科学技术大学 国家同步辐射实验室，合肥 230029
光栅是单色仪的核心器件，光栅的像差校正能力对单色仪性能有着决定性作用.本文研究了基于光线追迹点列图数值分析的遗传算法实现，建立了针对全息光栅成像质量的评价函数，并利用遗传算法实现了全息光栅的优化设计.结果表明，利用遗传算法可以简化求解过程,降低最优参量的误差,并克服局部极值的问题，明显优于阻尼最小二乘法.
全息光栅 点列图 遗传算法 优化设计 Concave holographic grating Spot diagrams Genetic algorithm Optimization design
