1 中国科学院光电研究院, 北京 100094
2 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094
3 中国科学院大学, 北京 100049
环境温度变化是影响夏克哈特曼波前传感器(SHWS)测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能,分析了环境温度变化引起的微透镜阵列(MLA)变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件(CCD)间距变化以及球面波点源与SHWS间距变化对SHWS测量精度的影响。分析计算得出,环境温度变化引起的MLA和CCD间距变化是影响SHWS测量精度的主要因素,环境温度在21~24 ℃内每增加1 ℃,给测量结果带来的误差[均方根(RMS)]约为0.52 nm 。通过单模光纤衍射产生近于理想的球面波对SHWS测量精度进行实验验证,实验结果和仿真分析结果基本一致。
测量 夏克哈特曼波前传感器 环境温度 测量精度