1 天津大学电子信息工程学院, 天津300072
2 中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京100083
3 中国科学院半导体研究所, 半导体集成技术工程研究中心, 北京100083
4 中国科学院半导体研究所, 半导体超晶格国家重点实验室, 北京100083
采用双离子束溅射氧化钒薄膜附加热处理的方式制备了纳米二氧化钒薄膜。 在热驱动方式下, 分别利用四探针测试技术和傅里叶变换红外光谱技术对纳米二氧化钒薄膜的电学与光学半导体-金属相变特性进行了测试与分析。 实验结果表明, 电学相变特性与光学相变特性之间存在明显的偏差, 电学相变温度为63 ℃, 高于光学相变温度, 60 ℃; 电学相变持续的温度宽度较光学相变持续温度宽度宽; 在红外光波段, 随着波长的增加, 纳米二氧化钒薄膜的光学相变温度逐渐增大, 由半导体相向金属相转变的初始温度逐渐升高, 相变持续的温度宽度变窄。 在红外光波段, 纳米二氧化钒薄膜的光学相变特性可以通过光波波长进行调控, 电学相变特性更适合表征纳米VO2薄膜的半导体-金属相变特性
纳米二氧化钒薄膜 光学相变 电学相变 Nano VO2 thin films Optical phase transition Electrical phase transition 光谱学与光谱分析
2010, 30(4): 1002
1 华中科技大学多谱信息处理技术国防科技重点实验室, 湖北 武汉 430074
2 华中科技大学武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430074
3 中国科学院半导体研究所, 北京 100083
通过单掩模紫外(UV)光刻、感应耦合等离子体(ICP)刻蚀及KOH∶H2O化学腐蚀,在硅片上制作5×5元面阵硅折射微光学结构。通过电化学方法将制成的硅精细图形结构转换成镍版,进而通过压制法将精细的镍版图形进一步转印到有机玻璃材料上,从而制成面阵光学波前出射结构。光刻版由结构尺寸在微米量级的大量微孔组成,其特征尺度和排布方式由算法生成。微形貌测试显示了制作的折射微光学波前出射结构具有预期的表面形貌特征。通过常规光学测试,比较和分析了出射复杂波前的情况。
光电子学 折射微光学结构 波前 制备工艺 高性能成像探测和仿真
概述了心音检测仪研制的意义以及目前心音检测仪存在的一些问题,并提出了相应的解决方法;介绍了一种新型心音检测仪的功能和特点;指出了心音检测仪将逐步向数字化,多媒体化,智能化的发展趋势.
心脏功能评估 心音检测仪 计算机化的医学仪器
