本文从多丝正比室(MWPC)特点出发,详细介绍了MSGC的工作原理、结构设计原理、结构参数(包括衬底材料、微条材料、工作气体)的选择依据以及应用前景,并报道了MSGC的最新研究进展.
微条气体室 成像 X射线探测器 micro-strip gas chamber imaging system X-ray detectors
1 上海大学材料科学与工程学院,上海,201800
2 中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家开放实验室,上海,200083
采用等离子增强化学气相法(PECVD)在碲镉汞(MCT)衬底上沉积纳米颗粒的类金刚石薄膜(DLC),对DLC/MCT界面进行了俄歇电子能谱(AES)分析,并与离子溅射法(IS)沉积的ZnS/MCT界面比较,结果表明DLC和ZnS薄膜都能较好地抑制MCT中HgTe的分解,在一定程度上阻挡了MCT中Hg的外扩散.相对于ZnS中的S而言,DLC的C在MCT中的内扩散深度较小(前者为400,而后者仅为200).红外透射光谱结果表明DLC膜比ZnS膜具有更好的抗反射效果.
类金刚石 薄膜 红外 界面. Diamond like carbon film infrared interfaces.
提出了一种新颖的多孔硅表面钝化技术，即采用微波等离子体辅助的化学气相沉积（MPCVD）方法在多孔硅上沉积金刚石薄膜。采用原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、拉曼光谱仪和荧光分光光度计对多孔硅及金刚石膜的表面形貌、结构和发光特性进行了表征。结果表明采用微波等离子体化学气相沉积法可在多孔硅基片上形成均匀、致密、性能稳定且对可见光具有全透性的金刚石膜。金刚石膜与多孔硅的复合，大大稳定了多孔硅的发光波长和强度，同时增强了多孔硅的机械强度。
多孔硅 金刚石薄膜 表面钝化 光致发光
