发展了一种改进的新型超掺杂工艺, 通过真空磁控溅射多层镀膜后结合532 nm波长可见纳秒脉冲激光熔融处理, 进行超掺杂钛的硅薄膜材料的制备, 并对材料的超掺杂层的性质和红外吸收性能进行了探究.结果表明, 硅膜层中掺杂的钛原子的百分比浓度超过1%左右, 对应钛原子浓度约为5×1020 cm-3左右, 超过钛在硅中形成超掺杂所对应的原子浓度.钛超掺杂层的厚度超过200 nm左右, 相对传统工艺具有明显提升, 并且钛原子的浓度变化范围不超过20%, 分布比较均匀.小角度X射线衍射测试表明经过可见脉冲激光熔融处理后的硅薄膜层材料结晶度为25%左右, 呈多晶结构.同时红外吸收谱测试表明, 样品的钛掺杂硅膜层在大于1 100 nm波长的区域具有很高的红外吸收效果, 最高的红外吸收系数达到1.2×104 cm-1, 远超过单晶硅材料.具有比较明显的亚能带吸收的特征, 呈现出Ec-0.26 eV的掺杂能级.霍尔效应测试表明硅膜层具有较高的载流子浓度, 超过了8×1018 cm-3.

水中粒子偏振效应的变化对激光水下探测领域的研究具有重要意义。针对不同粒子多次散射对后向散射光强以及偏振度的影响规律问题,基于激光偏振特性理论,通过实验测量的方法,对比分析了线偏振激光入射不同气泡大小和不同气泡数密度形成的气泡幕、不同气泡幕所在距离、洁净水与混浊水、不同入射角度情况下回波信号在强度和偏振度特性上的差异性,验证了水下激光偏振特性变化用于激光水下探测领域的可行性。