邹凯 1,2张文斌 2关胜 2孙海轶 3[ ... ]周志勇 2,*
作者单位
摘要
1 1.中国科学院大学, 北京100049
2 2.中国科学院 上海硅酸盐研究所, 上海200050
3 3.中国科学院 上海光学精密机械研究所, 上海 201800
极紫外(Extreme ultra-violet, EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术, 用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中, 基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐250 ℃高温微细压电陶瓷管的组成设计和精细制备, 以及高温锡液滴喷射元件的结构设计和封装等关键技术, 成功研制了压电式高温液滴喷射元件。并通过自主搭建高温锡液滴靶光学检测平台, 基于此高温液滴喷射元件实现了重复频率20 kHz, 直径~100 μm的高温锡液滴靶的稳定输出。
极紫外光刻 微细压电陶瓷管 高温液滴发生器 高温压电陶瓷 EUV lithography micro piezoelectric ceramic tube piezoelectric high-temperature nozzle high- temperature piezoelectric ceramic 
无机材料学报
2023, 38(8): 987
作者单位
摘要
1 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室,安徽 合肥 230029
2 中国科学院 西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119
3 中国科学院 上海硅酸盐研究所,上海 200050
4 中国科学院 上海高等研究院,上海 201204
第4代同步辐射光源及自由电子激光装置中束线光学系统对光学元件性能提出了苛刻的要求。使用压电变形镜是实现超高面形精度调控和实施波前补偿的有效途径,也是目前亟需突破的国产化技术瓶颈。针对这一问题,研制了长度为200 mm、含36个单元压电促动器的压电变形镜。通过数值模拟优化了变形镜结构参数,利用国产工艺完成了变形镜样机的制作,并对其面形调控能力进行初步探究。测试结果表明:所研制变形镜样机的平面面形误差可降低至1.38 nm (rms),斜率误差降低至240 nrad (rms),实现了平面面形的nm级调控。
压电变形镜 面形误差 同步辐射 自适应光学 bimorph mirror surface profile error synchrotron radiation adaptive optics 
中国光学
2021, 14(6): 1362
作者单位
摘要
北方自动控制技术研究所, 太原 030006
综合分析目标的各项属性并进行排序, 是合成分队辅助决策的核心问题。针对传统目标排序方法的不足, 提出了一种改进层次分析法与熵权法相结合的模糊综合排序方法。在充分借鉴以往评判指标的基础上, 将目标的心理价值纳入评估指标体系, 提升了评估的全面性; 在评估指标权重计算过程中, 使用改进层次分析法与熵权法相结合的方法, 综合考虑专家打分的主观与客观特性, 提升了权值求解的合理性; 基于评估指标及权值, 采用一种多层次模糊评判算法进行目标综合排序。采用上述方法, 对想定中的8个重要目标进行排序, 结果表明: 所提方法得出的排序结果符合指挥员认知, 提高了决策的科学性和有效性。
目标排序 模糊综合评判 目标综合价值 主客观综合权重 target ranking fuzzy comprehensive evaluation target comprehensive value subjecive and objective comprehensive weight 
电光与控制
2019, 26(5): 95
作者单位
摘要
郑州大学物理工程学院, 河南 郑州 450001
基于菲涅耳非相干相关全息光路的望远系统, 可以在较远距离下, 得到目标物体的数字全息图。基于菲涅耳衍射理论, 计算了成像过程的点扩展函数(PSF), 理论上分析了菲涅耳非相干数字全息望远系统的成像原理、系统的横向放大率以及再现过程中的重建距离; 搭建了基于菲涅耳非相干相关同轴光路的数字全息望远系统, 在白光照明的条件下, 利用探测器(CCD)记录物体的全息图, 使用相移法消除了同轴光路下的零级像和共轭像, 通过角谱算法得到清晰的重建像。孔径光阑的引入, 解决了照明不均匀的问题,提高了成像质量。从实验上验证了系统的分辨率、景深以及三维成像特性。结果表明, 当望远系统角放大率为2.0倍、望远距离为900 mm时, 分辨率可达到16.00 lp/mm。
全息 非相干同轴数字全息 望远系统 菲涅耳非相干相关全息 
激光与光电子学进展
2017, 54(12): 120902
作者单位
摘要
郑州大学物理工程学院,河南 郑州 450001
采用基于迈克耳孙干涉仪的非相干数字全息显微成像系统能够得到物体在非相干光照明下的全息图。对基于迈克耳孙干涉仪的非相干数字全息显微成像系统进行了理论和实验研究。利用标量衍射理论计算了该系统在记录过程中的点扩展函数,获得了系统横向放大率及重建距离的具体表达式。搭建了基于迈克耳孙干涉仪的非相干数字全息显微成像系统的实验光路,利用CCD记录全息图,用广义相移数字全息干涉术去除孪生像与零级像,并用角谱算法得到了清晰的重建像。实现了分辨率板和洋葱表皮细胞等样品的非相干全息显微成像,验证了该系统的可行性。分辨率板的成像实验表明,该系统的横向分辨率可达512 lp/mm。微米洁面刷软毛的成像实验表明,该系统具有呈现物体三维结构的特性。
全息 非相干数字全息 显微成像 广义相移数字全息干涉术 
中国激光
2017, 44(3): 0309001
作者单位
摘要
1 天津大学精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072
2 天津大学, 天津市生物医学检测技术与仪器重点实验室, 天津 300072
3 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
4 天津大学化工学院, 天津 300072
光纤型表面等离子共振光谱具有半峰宽较宽, 共振峰不尖锐等特征, 传统的针对棱镜型SPR光谱的峰值检测算法无法准确定位此类光谱的共振峰值。 为了准确计算光纤型SPR光谱的共振波长, 提出了一种基于信赖域算法的高斯拟合方法, 在拟合的光谱曲线上利用一维搜索的方式确定峰值位置。 通过对标准甘油光谱数据的处理, 证明高斯拟合法能够适应光纤型SPR光谱的特征, 波长计算准确。 通过搭建的SPR系统, 实验测量了不同浓度下蔗糖溶液的SPR光谱数据, 并分别采用加权质心法, 追踪质心法和该研究提出的高斯拟合法进行共振波长的计算。 结果表明高斯拟合法能够有效提升分辨率, 且运算速度较快, 有利于工程集成。
SPR光谱 高斯拟合法 信赖域算法 峰值检测 Spectrum of SPR The Gaussian fitting Trust region algorithm Peak detection 
光谱学与光谱分析
2016, 36(6): 1949
作者单位
摘要
郑州大学物理工程学院, 河南 郑州 450001
当前,数字全息显微主要采用相干性好的激光作为光源,对设备及环境条件要求较高,且会在全息图中引入大量的散斑噪声和寄生干涉条纹。基于非相干光照明下的数字全息可以很好地解决以上问题。采用非相干光作为光源,空间光调制器和CCD组成非相干干涉仪作为全息记录模块,从波动光学角度分析了该模块的记录及再现原理,给出了系统的点扩展函数、横向放大率和再现距离。采用该模块结合物镜搭建了反射式同轴非相干数字全息显微成像系统。利用该系统对分辨率板成像,获得与传统宽场光学显微镜相当的空间分辨率。对300~500 μm单颗粒金刚钻进行全息拍摄,在不同平面实现了数字聚焦。结果表明,该系统可以快速获取微小物体的三维空间信息,在医学检测、材料分析等领域具有广阔的应用前景。
全息 数字全息 非相干干涉仪 数字全息显微 空间分辨力 三维成像 
中国激光
2016, 43(11): 1109002
作者单位
摘要
1 中国科学院 上海硅酸盐研究所, 上海 200050
2 中国工程物理研究院 流体物理研究所, 四川 绵阳 621900
设计了一种脉冲形成线用新型CaO-TiO2-Al2O3基介质陶瓷体系,采用传统固相法通过优化组分和制备工艺,调控材料的微结构,获得了介电性能优异的介质陶瓷。其介电常数在15~35之间可调,介电损耗小于0.002,频率稳定性好。在厚度为1 mm时,介电强度高达50 kV/mm。研究了厚度对CaO-TiO2-Al2O3基介质陶瓷介电强度的影响规律,当厚度从1 mm减小到0.1 mm时,介电强度呈非线性增大,从50 kV/mm(1 mm厚样品)提高到92 kV/mm(0.1 mm厚样品),可见,CaO-TiO2-Al2O3基介质陶瓷的电击穿与其机械损坏具有相似性。结合CaO-TiO2-Al2O3基介质陶瓷的化学组分和微观结构,CaO-TiO2-Al2O3基介质陶瓷优越的电击穿特性可以用弱点击穿理论解释。
脉冲形成线 介质陶瓷 介电性能 介电强度 CaO-TiO2-Al2O3 CaO-TiO2-Al2O3 pulse forming line dielectric ceramics dielectric properties dielectric breakdown strength 
强激光与粒子束
2016, 28(4): 045002
陈书旺 1,*王军星 1盛伟楠 2,3刘瑾 2,3[ ... ]周鹏 2,4
作者单位
摘要
1 河北科技大学信息科学与工程学院, 河北 石家庄 050018
2 天津大学精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072
3 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
4 天津大学,天津市生物医学检测技术与仪器重点实验室, 天津 300072
表面等离子体共振(surface plasmon resonance,SPR)谱因共振强度、共振位置等不同而呈现不同的幅度和峰宽,需要发展自适应的分析方法才能保证SPR共振峰的精确定位.提出了一种基于Savitzky-Golay滤波器最优参数的SPR谱滤波方法,可根据实时SPR谱的特点优化滤波器参数(拟合阶数和窗宽),使滤波后光谱的均方误差(mean squared error,MSE)的Stein’s无偏风险估计(Stein’s unbiased risk estimate,SURE)最小,采用Monte-Carlo算法实现了SURE的快速求解.经验证,在不同的噪声水平下,SURE都可以准确反映实际MSE趋势及结果.采用搭建的SPR系统,实验测量了不同浓度、不同积分时间下蔗糖溶液的SPR信号,用提出的最优参数对SPR信号进行滤波,结果表明,与固定参数相比,该方法确定的SPR共振峰位置重复性误差较小,且不随噪声的增大而增大.
Savitzky-Golay滤波器 表面等离子体共振 均方误差 Stein’s无偏风险估计 Savitzky-Golay filter SPR MSE Stein’s unbiased risk estimate Monte-Carlo Monte-Carlo 
光谱学与光谱分析
2015, 35(4): 1124
谌怡 1,*刘毅 1陈莹 2王卫 1[ ... ]邓建军 1
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院 流体物理研究所, 脉冲功率科学与技术重点实验室, 四川 绵阳 621900
2 中国科学院 上海硅酸盐研究所, 上海 200050
设计和研制了一种CaO-TiO2-Al2O3复合陶瓷平板固态脉冲形成线,以期用于介质壁加速器。该脉冲形成线的几何参数为:陶瓷介质长度300 mm,宽度15 mm,厚度1 mm;银电极长度280 mm,宽度2 mm。电性能参数为:相对介电常数约23.5,特征阻抗约26 Ω,电长度约4.5 ns,直流耐压场强大于20 kV/mm,在μs量级上升时间的脉冲电压下绝缘强度大于25 kV/mm。该固态脉冲形成线设计兼顾了光导开关的使用要求、高梯度绝缘子的设计指标、带电粒子束的输运及加速器的结构设计要求。结合GaAs光导开关,开展了固态Blumlein脉冲形成线实验研究工作,在脉冲充电电压约25 kV的条件下,固态Blumlein脉冲形成线实现脉冲电压输出约23 kV。
介质壁加速器 固态脉冲形成线 复合陶瓷 Blumlein脉冲形成线 光导开关 dielectric wall accelerator solid-state pulse forming lines composite ceramic Blumlein pulse forming lines photoconductive semiconductor switches 
强激光与粒子束
2014, 26(10): 105102

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