西安交通大学机械工程学院激光与红外应用研究所, 陕西 西安 710049
为了克服单点扫描共焦测量中速度慢、机构复杂的不足,基于并行共焦测量的思想,利用集成光纤束器件实现光束分割,同时起到共焦测量中针孔的作用。在此基础上设计了基于该器件的一套并行共焦测量系统。系统中还采用了专门设计的棱镜将光源与信号光分离。给出了系统的测量原理,说明系统具有结构简单,信噪比高等特点。初步实验表明了该系统的可行性。
集成光学 集成光纤束 共焦 并行测量
西安交通大学激光与红外应用研究所,西安,710049
提出了一种基于500×500的针孔阵列的多光束共焦三维测量系统,该系统具有测量视场大,测量速度快,系统结构简单等特点.
共焦测量 针孔阵列 三维轮廓 误差标定