仲健魁 1,2黄元申 1,2,3,*倪争技 1,2,3徐邦联 1,2张大伟 1,2,3
作者单位
摘要
1 上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海 200093
2 上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093
3 上海光学仪器研究所,上海 200093
高衍射效率的凸面闪耀光栅是高光谱分辨率成像光谱仪的核心分光元件,其制作方法包括机械刻划法、电子束直写法、X射线光刻法、全息离子束刻蚀法等,其中全息离子束刻蚀法因为具备良好的各向异性,不受尺寸与曲面形状限制,杂散光低,完全没有鬼线,制造时间短等优点成为现今光栅制造领域常用方法之一。传统全息离子束刻蚀凸面光栅时基底的弯曲会导致槽形闪耀角的不一致性,并且在制作小闪耀角凸面光栅时基底表面会有部分区域无法被刻蚀和槽形曲面不连续的现象,而摆动刻蚀凸面闪耀光栅可以克服上述缺点。对全息离子束刻蚀方法制作凸面闪耀光栅多方面进行了综述。
凸面光栅 全息离子束刻蚀 闪耀角 convex grating holographic ion beam etching blazed angle 
光学仪器
2021, 43(3): 86
作者单位
摘要
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093
2 上海光学仪器研究所,上海 200093
凸面光栅是Offner结构成像光谱仪的核心分光元件,制备出高衍射效率、高分辨率的凸面光栅是提高光谱仪成像质量,实现遥感探测的关键。介绍了目前凸面光栅的研究现状,讨论了设计与制作凸面闪耀光栅的主要方法。凸面光栅的设计方法采用严格耦合波理论对光栅进行衍射效率分析,制作方法主要包括:电子束直写法、X射线光刻法、机械刻划法以及全息离子束刻蚀法。鉴于全息离子束刻蚀法具有成本低、槽型可控、无鬼线等优点,详细介绍了利用该方法制备凸面光栅的工艺及相关研究报道。在接下来的工作中将不断优化和提高全息曝光光强分布的均匀性,改进摆动刻蚀装置旋转轴的可调性,优化离子束刻蚀工艺参数,以期制作出实用化的凸面闪耀光栅。
光学设计 凸面光栅 全息离子束刻蚀法 Offner成像光谱仪 
激光与光电子学进展
2021, 58(11): 1100002
沈宇航 1倪争技 1,2,*黄元申 1,2徐邦联 1,2[ ... ]王丁陆 1
作者单位
摘要
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093
2 上海光学仪器研究所,上海 200093
介绍了基于同心结构的凸面光栅成像光谱仪的研究背景、设计方案和结构特点,综述了凸面光栅同心结构成像光谱仪在国内外目前主要的五种结构类型,包括Offner型、非共面型、折反射型、+1级衍射型、自由曲面型。总结了五种结构类型的优点和缺点,对研发新一代具有高成像质量、高分辨率、高衍射效率、大相对孔径、长狭缝、宽波长范围的轻小型成像光谱仪具有重要的指导意义。
成像系统 成像光谱仪 凸面光栅 同心结构 光学设计 
激光与光电子学进展
2021, 58(9): 0900002
作者单位
摘要
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海200093
2 南洋理工大学电子与电机工程学院, 新加坡639798
为使凹面光栅的衍射能量更多地集中在所需要的级次上, 提出了利用机械刻划的方法在凹面基底上制作变刻槽角度的凹面闪耀光栅, 并利用菲涅耳-基尔霍夫衍射公式推导了同时在主截面和非主截面内计算凹面闪耀光栅衍射效率的理论方法, 弥补了以往只在主截面内考虑衍射效率的不足, 最后利用Matlab仿真软件模拟了衍射效率随波长的变化曲线, 并对比了在不同制作和使用参数下衍射效率峰值的变化规律, 为今后凹面光栅的设计和制作提供了参考价值。
凹面闪耀光栅 衍射效率 菲涅耳衍射 数值积分法 Concave blazed grating Diffraction efficiency Fresnel diffraction Numerical integration method 
光谱学与光谱分析
2013, 33(7): 1997
作者单位
摘要
上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
利用导模共振(GMR)光栅阵列再现彩色图像,不同于传统的彩色油墨印刷中所采用的三色染料混合的方式,它是利用光栅的滤光特性直接从自然光中分离出红、绿、蓝三色光充当三基色来代替化学油墨。由于GMR光栅在偏振光入射下衍射曲线在特定波长处会呈现很强的共振峰,且旁带非常低,因此很容易得到高纯度的单色光。考虑到降低实际加工的难度,只通过改变光栅周期来移动共振峰的位置以获得所需的三种基元光栅结构,然后对这些基元光栅进行分布处理即可得到彩色图像。
光栅 导模共振 彩色图像 衍射效率 
光学学报
2011, 31(12): 1205002
作者单位
摘要
上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
可调谐液晶光子晶体是通过加电场、光场或改变液晶温度来改变液晶指向矢的方向,进而改变液晶折射率达到控制光子带隙的目的。运用平面波展开法(PWM)对圆柱、方柱及正六边柱构造的二维可调谐液晶三角格子光子晶体的禁带进行仿真模拟,讨论了基底材料分别为Ge和Si情况下,柱子形状、旋转角度和填充比的变化对二维苯乙炔型液晶光子带隙的影响。发现均无完全光子禁带出现,而通过改变液晶折射率可得到大调谐范围的TE偏振光。该结构参数可为制造大调谐范围的场敏偏光片提供理论上的指导、同时也为波导光开关、可调谐滤波器和光衰减器的研制提供理论上的根据。
材料 液晶光子晶体 光子禁带 平面波展开法 场敏偏光片 
光学学报
2011, 31(s1): s100202
作者单位
摘要
1 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
2 太原理工大学 理学院物理系, 太原 030024
光子晶体结构设计优化是理论研究的一个重要内容。运用平面波展开法对圆柱、方柱及正六边柱构造的二维三角格子光子晶体的禁带进行仿真计算, 讨论了介质材料分别为GaAs、Si和Ge情况下, 柱子形状、旋转角度、填充比的变化对完全光子禁带的影响。发现: 对于二维三角格子光子晶体, 相对于介质柱, 空气柱更易获得完全光子禁带; 而相对于圆柱及方柱, 正六边柱得到的完全禁带宽度最大, 所以二维三角格子的最优结构为Ge介质背景下的正六边空气柱, 最优结构参数为θ=18°,d/a=0.92, 最大禁带宽度Δmax=0.116(ωa/2πc), 研究结果可为今后实验制作大带隙二维三角格子光子晶体提供理论上的指导。
光子晶体 光子禁带 平面波展开法(PWM) 最优结构参数 photonic crystals photonic band gap plane wave expansion method (PWM) optimum structure parameters 
光学技术
2011, 37(3): 284

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