1 中国工程物理研究院，电子工程研究所，四川 绵阳621900
2 中国工程物理研究院，太赫兹研究中心，四川 绵阳621900
从行波管工作的物理特性提出了一种获得折叠波导慢波结构参数的简单方法，给定工作频率和电压，能够获得折叠波导慢波结构的初始参数.设计了D波段的折叠波导结构来验证该方法，对其冷测特性如色散、耦合阻抗进行了分析.仿真结果表明，设计的折叠波导慢波结构在中心频率处具有较平缓的色散关系，在中心频率处耦合阻抗为3.5欧姆.在电子注电压为20.6kV，电流为15mA时，27mm(50个周期)的折叠波导慢波结构在220GHz具有13.5dB的增益，3dB带宽为11GHz (213~224GHz).同时讨论了折叠波导慢波结构的微加工工艺，并通过UV-LIGA工艺获得了实验样品.
行波管 折叠波导 仿真 THz辐射 TWT folded waveguide simulation UV-LIGA UV-LIGA terahertz radiation
1 中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院 太赫兹研究中心, 四川 绵阳 621900
3 电子科技大学 物理电子学院, 成都 613800
实现了一种采用聚苯乙烯纳米球自组装技术和微机械制造技术加工的场发射阴极用亚微米栅极微孔阵列。设计了一套完整的工艺实验方案，首先采用微球自组装技术获得了亚微米级金属网孔掩膜，然后通过反应离子刻蚀技术获得了亚微米栅极孔阵列，从而实现了集成度高、分布均匀的周期性亚微米孔洞阵列的制备，微孔集成度达到108cm-2。实验研究了氧气刻蚀聚苯乙烯微球的规律。采用金属掩膜，四氟化碳干法刻蚀二氧化硅，获得了深度为500 nm的微孔。实验结果证明该工艺方案是一种获得大面积、均匀分布、集成度高的场发射冷阴极栅孔阵列的有效方法。
微机电系统 自组装 微孔阵列 场发射冷阴极 micro electromechanical system self-assembly microhole array field emission cold cathode
1 中国工程物理研究院 电子工程研究所， 四川 绵阳， 621900
2 电子科技大学 物理电子学院， 成都 610054
优化设计了一种220 GHz的折叠波导慢波结构的尺寸，对其冷测特性如色散、耦合阻抗和衰减进行了分析。理论分析和软件仿真结果表明设计的折叠波导慢波结构在中心频率处具有较平缓的色散关系，较高的耦合阻抗和较低的电路衰减。互作用模拟表明，在电子注电压为20 kV，电流为10 mA时，27 mm(50个周期)的折叠波导慢波结构在220 GHz具有14.5 dB的增益，3 dB带宽为16.3 GHz(211.9～228.2 GHz)。
冷测特性 折叠波导 仿真 THz辐射 cold characteristics folded waveguide simulation terahertz radiation
