1 常州亚玛顿股份有限公司光电玻璃省重点实验室， 江苏 常州 213000
2 常州大学光伏科学与工程协同创新中心， 江苏 常州 213000
利用磁控溅射法，在不同工作压强下制备了氧化钨(WO3)薄膜，研究了工作压强对WO3膜层微观结构的调控作用，并研究了WO3膜层微观结构对其电致变色性能的影响。研究结果表明，制备的WO3薄膜属于非晶相，表面呈峰状结构；随着工作压强的增大，WO3薄膜膜层微观结构变疏松，电致变色响应时间和循环寿命均减短；在最佳膜层微观结构下，WO3薄膜光学密度可达0.64，循环寿命达1500周。
薄膜 微观结构 氧化钨 电致变色性能 激光与光电子学进展
2017, 54(11): 113103
