1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
2 长春理工大学光电工程学院, 长春 130022
在干涉检验过程中, 被检元件的面形误差检测精度受到干涉仪系统结构的影响, 从而降低测量结果的可靠性。为了得到较高的检测精度, 必须对检测系统进行分析, 建立测量误差和系统结构的关联度。根据菲涅耳衍射近似理论, 就菲佐干涉仪中的准直镜和标准镜面形误差对透过检测的影响进行了研究。通过对波前相位传递情况的分析, 得出波前误差和系统结构参量的相关性, 去除空腔系统误差, 优化结构参量, 并建立准直镜误差容限表达式。经计算得出, 当被检面形变误差为0.2λ时, 测试误差可以达到0.02λ, 而对准直镜的面形误差要求只需0.8λ。
光学测量 菲佐干涉仪 相位分布 波前误差 系统误差 菲涅耳衍射近似
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心, 吉林 长春 130022
2 吉林大学原子分子物理研究所, 吉林 长春 130022
由描述计算机控制光学表面成型(CCOS)的Preston方程出发,针对磨头平转动加工方式,建立了工件与磨头之间的相对运动关系。在此基础上,模拟计算了除驻留时间以外的控制参数(磨头驱动电机转速)对CCOS加工质量的影响,为进一步优化原有的数控模型、增加可控变量、从而实现大偏离量非球面的快速加工提供了理论参考。
光学技术与仪器 大偏离量非球面 去除函数 平转动
