深圳技术大学 新材料与新能源学院，广东 深圳 518118
为了获得低抖动的准分子激光放大器光源，设计了一种以氢闸流管作为高压开关的低抖动准分子激光放大器系统。利用抖动小于4 ns的闸流管触发电路来触发导通氢闸流管，从外部触发信号到准分子光信号之间有一定的延时时间。研究了以氢闸流管作为高压开关的准分子激光放电回路，外部控制信号发生电路产生外部充电信号和出光信号，转换电路将外部充电信号和出光信号转换成固定脉宽的光信号，在实现低抖动出光前，准分子激光放大器系统热平衡过程中会有一定的出光延时漂移现象。讨论了激光运行重复率、激光运行电压和气体状态在热平衡过程中对稳定延迟时间大小的影响。实验表明，在相同运行电压下，稳定延迟时间随着激光运行重复频率的提高而增大；运行电压越高，稳定延迟时间上升的幅度越大。气体恶化后，光脉冲稳定延迟时间变小。激光运行电压和重复频率越高，延时漂移时间越大。在温漂一定时间后，准分子激光放大器内部系统达到热平衡，以外部触发信号为基准，准分子光脉冲信号实现在5、10、15 Hz重复频率下的5 ns内低抖动出光。
准分子激光器 低抖动 放大器 温漂 excimer laser low-jitter time amplifier temperature drift 红外与激光工程
2023, 52(3): 20220468
1 中国科学技术大学环境科学与光电技术学院,合肥230029
2 中国科学院合肥物质科学研究院,合肥230031
柔性电子是可穿戴设备、物联网等应用发展的重要研究方向。激光剥离技术是一种利用激光能量来分离玻璃基板与柔性衬底的技术, 具有作用光波长可选、作用时间短、热影响区域小的优点, 是目前实现柔性电子器件的最重要技术之一。介绍了激光剥离的主要技术特点, 分析其在不同的柔性电子领域的应用, 讨论了应用过程中的主要工艺和作用, 并总结了激光剥离技术未来的发展趋势。激光剥离技术的快速发展, 会对柔性电子行业的研究和发展形成强力支持。
激光技术 激光应用 柔性电子 激光剥离 柔性衬底 laser technique laser application flexible electronics laser lift-off flexible substrate
1 中国科学院 安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031
2 中国科学技术大学 研究生院科学岛分院, 合肥 230026
为了获得准分子激光器高脉冲能量输出, 采用张氏面型电极的理论, 设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极。通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布, 并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证; 分析了紫外火花预电离结构对电极放电的影响, 并进行了电位和电场分布仿真。结果表明,预电离板的存在直接影响了电极之间的电位和电场分布; 电场仿真结果解释了预电离板的顶端与阳极形成放电的原因。该研究为大面积辉光放电电极设计提供了更深入的理论支持。
光学器件 激光器 电场分布 数值仿真 紧凑型张氏面型电极 optical devices lasers electric field distribution numerical simulation compact Chang electrode
1 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 安徽 合肥 230031
2 中国科学技术大学, 安徽 合肥 230026
利用ICEM软件对简化后的准分子激光器气体流道进行二维截面网格划分。基于realizable k-ε湍流模型和多参考系(MRF)模型，利用FLUENT软件对激光器内部气体流动进行稳态流场仿真，获得了气体流动速度大小和分布。仿真结果表明,气体平均流速与风机转速大小呈线性关系，风机扭矩与风机转速的平方也呈线性关系。采用皮托管实测流速分布并与仿真结果进行对比，它们之间的一致证实了仿真结果的可靠性。
激光器 气体流场 数值仿真 气体流道设计
