刘洋 1,2,3朱香平 1,2,3靳川 1,2,3张笑墨 1,2,3赵卫 1,2,3,*
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710119
2 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
3 中国科学院大学,北京 100049
采用钛蓝宝石飞秒激光加工系统在融石英表面诱导表面周期性微纳结构,研究了激光诱导表面周期结构的形成过程以及激光能量密度、脉冲数、光斑大小和脉冲的空间间隔对融石英表面激光诱导表面周期结构的形貌的影响。实验结果表明,飞秒激光在融石英表面可以诱导出周期性的亚波长结构,主要以垂直于激光偏振方向的光栅状结构为主,其周期在百纳米量级且具有更好的可复现性。在激光光斑控制在1 μm附近时,所得到的形貌具有较高的规则性。根据实验结果设计了聚焦高斯光斑低通量的加工方式。所制备的光栅结构具有200~300 nm的周期,平均深度约为300 nm。
飞秒激光加工 表面形貌 亚波长结构 融石英 周期性结构 Femtosecond laser processing Surface morphology Subwavelength structures Fused silica Periodic structure 
光子学报
2023, 52(7): 0752307
李继超 1,2朱香平 1,2李相鑫 3胡景鹏 3[ ... ]赵卫 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
2 中国科学院大学,北京 100049
3 西安中科原子精密制造科技有限公司,西安 710110
基于原子层沉积技术提出了一种TiO2∶Al2O3纳米复合薄膜作为微通道板导电层材料。根据微通道板的规格参数以及体电阻要求,推导出微通道板导电层薄膜的方块电阻范围为1.73×1013~5.20×1013 Ω/□;研究了TiO2循环百分比与TiO2∶Al2O3纳米复合薄膜方块电阻之间的关系,发现当TiO2循环百分比在30.27%~37.06%时复合薄膜电阻率满足微通道板导电层要求;设计制备了20 nm的Al2O3过渡层以及100 nm的TiO2∶Al2O3纳米复合薄膜,测量厚度约为122 nm,且薄膜表面平整光滑,实现了微通道板微孔内壁TiO2∶Al2O3纳米复合薄膜导电层的制备。在1 000 V测试电压下,其体电阻为212.81 MΩ,增益为18 357,表明TiO2∶Al2O3纳米复合薄膜作为微通道板导电层具有可行性。
原子层沉积 微通道板 二氧化钛 氧化铝 导电层 Atomic layer deposition Microchannel plate TiO2 Al2O3 Conductive layer 
光子学报
2023, 52(6): 0631003
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
2 中国科学院大学,北京 100049
3 西安中科原子精密制造科技有限公司,西安 710110
在250 ℃的低温下,以三甲基镓、四(二甲氨基)钛为前躯体源,O3为反应气体,采用热原子层沉积制备了Ti掺杂Ga2O3(TGO)薄膜。Ga2O3和TiO2的生长速率分别为0.037 nm/cycle和0.08 nm/cycle,TGO薄膜厚度低于理论计算值。X射线光电子能谱仪测试结果表明膜中Ti浓度随Ga2O3/TiO2循环比减少而增加,O 1s、Ga 2p和Ti 2p的峰位置向较低的结合能移动,这是因为Ti原子取代了Ga原子的某些位点引起了结合能降低,表明Ti元素成功掺杂到Ga2O3薄膜中。TiO2和Ga2O3的芯能级光谱分析表明薄膜中存有Ti4+和Ga3+离子。TGO薄膜的O 1s芯能级光谱中Ga-O键随着Ti-O键含量增加而下降,表明TGO薄膜中形成Ga2O3-TiO2复合材料。掠入射X射线衍射图中没有出现衍射峰,表明沉积的Ga2O3和TGO薄膜为非晶态。原子力显微镜观察到薄膜表面平整光滑,均方根粗糙度为0.377 nm,这得益于原子层沉积逐层生长的优势。TGO薄膜在可见光区表现出较高的透明度,对紫外光强烈吸收。随着Ti掺杂浓度的增加,TGO薄膜的折射率由于化学变化从1.75增加到1.99,紫外光区消光系数增大引起透过率减小,吸收边缘出现了红移,光学带隙从4.9 eV减小到4.3 eV。分光光度法和X射线光电子能谱法测定薄膜光学带隙所得的结果一致。
氧化镓薄膜 Ti掺杂Ga2O3薄膜 热原子层沉积 折射率 光学带隙 Gallium oxide thin film Ti-doped Ga2O3 thin films Thermal atomic layer deposition Refractive index Optical band gap 
光子学报
2023, 52(6): 0631002
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所, 瞬态光学与光子技术国家重点实验室, 陕西 西安 710119
3 西北大学化学与材料科学学院, 合成与天然功能分子教育部重点实验室, 陕西 西安 710127
激光诱导击穿光谱(LIBS)作为一种快速、 实时的元素分析技术, 由于其在痕量元素探测、 地质环境监测等领域有着广阔的应用前景, 而受到人们极大的关注。 在实际应用中, 样品表面是影响等离子体产生及其特性的关键环境因素之一。 在大气环境下, 利用脉宽为8 ns、 波长为1 064 nm的纳秒脉冲激光产生等离子体, 对比研究了天然岩石样品在非平坦和平坦表面条件下等离子体的发射光谱。 基于激光辅助辐射波模型, 阐释了非平坦样品表面对其光谱特性的影响。 通过对比等离子体时间积分光谱, 发现非平坦样品的谱线强度相比于平坦样品的谱线强度减弱了近70%, 该结果说明非平坦样品表面对LIBS真实测量数据的负面影响不可忽视。 针对褐铁矿样品中的谱线Fe Ⅰ 404.58 nm和Fe Ⅰ 438.35 nm, 研究了在平坦和非平坦样品表面下的峰值强度以及其衰减因子随激光能量的变化规律, 结果表明非平坦样品表面条件下采集的光谱强度始终低于平坦样品表面的光谱强度。 光谱强度的衰减因子先随激光能量增大而逐渐降低, 并在激光能量33 mJ达到最小值, 后随激光能量的进一步增大而增大。 实验结果进一步表明在非平坦样品表面条件下产生了密度较低的等离子体, 并且非平坦与平坦样品的电子密度的比值在激光能量33 mJ时达到最小, 此结果与光谱强度的衰减因子随激光能量的变化趋势一致, 这是源于非平坦样品表面会形成较大激光入射角度, 使得激光等离子体能量吸收区厚度变薄, 产生等离子体屏蔽效应所对应的激光能量阈值升高。 此外, 样品表面状态和激光能量对等离子体温度的影响甚微。 阐述了非正入射时等离子体特征参数与正入射时等离子体特征参数的联系和差异, 揭示了非平坦样品激光等离子体特征参量变化的内在物理机制, 为室外LIBS探测技术在元素定性和定量分析中光谱强度的校正提供参考。
激光诱导击穿光谱 非平坦样品 原子光谱 等离子体温度 电子密度 Laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS) Non-flat sample Atomic lines Plasma temperature Electron density 
光谱学与光谱分析
2022, 42(10): 3024
郭恺琛 1,2,*武中臣 1,2朱香平 3凌宗成 1,2[ ... ]钱茂程 1,2
作者单位
摘要
1 山东大学 空间科学研究院,山东 威海 264209
2 山东大学 山东省光学天文与日地空间环境重点实验室,山东 威海 264209
3 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
以ChemCam团队公布的64个飞行前定标样品的浓度和激光诱导击穿光谱数据为对象,通过使用主成分分析载荷空间距离法对特定元素分析,筛选出对该元素最敏感的激光诱导击穿光谱谱线,并以此为依据进行矿物元素种类和丰度识别,其识别精度高达92.8%.结果表明,主成分分析载荷空间距离可以作为定量分析前矿物特定元素信息和元素丰度的判断依据.该方法降低了岩石/矿物分类的难度,有利于实现未知的矿物快速、高效的鉴别分析,为火星表面岩石种类鉴别分析提供了一个有效的策略.
行星光谱学 激光诱导击穿光谱技术 主成分分析法 波长选择 矿物分析 等离子体 Planetary spectroscopy Laser induced breakdown spectroscopy Principal component analysis Feature extraction Minerals Plasma 
光子学报
2019, 48(10): 1030002
作者单位
摘要
1 西安邮电大学 电子工程学院,西安 710121
2 中国科学院大学,北京 100049
3 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
利用激光诱导击穿光谱技术进行原岩分类与识别存在可重复性差,数据残差值高等问题,导致其分类识别准确率较低.针对此问题,提出了一种基于格拉布斯准则法的异常值判别方法,该方法可以有效替换残差值较大的数据,从而降低分类识别算法过拟合的概率.使用线性判别分析法、随机森林分类法、支持向量机三种分类识别算法对岩石的LIBS光谱进行识别.在数据降噪前,三种方法的识别准确率为:线性判别分析法79.6%、随机森林分类法75.2%、支持向量机94.5%,而数据降噪后的识别准确率为:线性判别分析法 92%、随机森林分类法 97%、支持向量机99.4%.
激光诱导击穿光谱技术 等离子体 原岩识别 主成分分析法 降噪 Laser induced breakdown spectroscopy Plasma Rock Principal component analysis Noise reduction 
光子学报
2019, 48(10): 1030001
作者单位
摘要
1 山东大学空间科学研究院及山东省光学天文与日地空间环境重点实验室, 山东 威海 264209
2 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室, 陕西 西安 710000
多源数据融合能在一定程度上扩展数据信息量, 更利于建立准确和稳健的分析模型。 行星探测中常采用多个载荷协同分析同一目标, 因此利用多载荷数据融合辨别分析火星矿物具有重要科学意义和应用前景。 分别采用可见近红外(Vis-NIR)反射光谱和拉曼(Raman)散射光谱两种技术手段测量了火星表面主要矿物(硅酸盐、 硫酸盐、 碳酸盐)的光谱特征曲线, 并对获取的光谱数据进行基线校正、 Savitzky-Golay平滑以及标准矢量归一化(SNV)等必要的数据预处理。 根据光谱特征, 首先选取样品Vis-NIR和Raman数据信息丰富、 信噪比高、 光谱信号重叠小的波段(Vis-NIR: 430~2 430 nm, Raman: 130~1 100 cm-1), 然后运用软独立建模分类法(SIMCA)、 主成分分析法-K最邻近分类法(PCA-KNN)分别建立基于Vis-NIR, Raman及两者融合(累加融合、 串联融合)的矿物聚类分析模型。 采用SIMCA算法的矿物聚类准确率由单一光谱建模的72.6%(Vis-NIR), 90.7%(Raman)提升为融合建模的96.3%(累加融合)和98.1%(串联融合); 采用PCA-KNN的准确率由单一光谱建模的68.9%(Vis-NIR), 72.9%(Raman)提升为融合后的80.3%(累加融合)和92.6%(串联融合)。 实验结果表明: 光谱融合能够发挥Vis-NIR, Raman各自的数据优势, 所建火星表面相关矿物分类模型的预测准确度更高。 该研究为我国火星探测任务奠定了岩石分类方法基础。
可见近红外光谱 拉曼光谱 光谱融合 软独立建模分类法 主成分分析-K值最邻近分类法 Visible-near infrared spectroscopy Raman spectroscopy Spectral fusion Soft Independent Method of Class Analogy Principal Component Analysis-K-Nearest Neighbor 
光谱学与光谱分析
2018, 38(6): 1926
Author Affiliations
Abstract
1 State Key Laboratory of Transient Optics and Photonics, Xi’an Institute of Optics and Precision Mechanics, Chinese Academy of Science (CAS), Xi’an 710119, China
2 University of Chinese Academy of Sciences (CAS), Beijing 100049, China
3 State Key Laboratory of Power Systems, Department of Thermal Engineering, Tsinghua-BP Clean Energy Center, Tsinghua University, Beijing 100084, China
4 School of Science, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China
In this Letter, a miniature wearable Raman spectroscopy system is developed. A wearable fiber-optic probe is employed to help the stable and convenient collection of Raman spectra. A nonlinear partial least squares model based on a multivariate dominant factor is employed to predict the glucose level. The mean coefficients of determination are 0.99, 0.893, and 0.844 for the glucose solution, laboratory rats, and human volunteers. The results demonstrate that a miniature wearable Raman spectroscopy system is feasible to achieve the noninvasive detection of human blood glucose and has important clinical application value in disease diagnosis.
300.6450 Spectroscopy, Raman 300.6190 Spectrometers 120.4290 Nondestructive testing 
Chinese Optics Letters
2017, 15(8): 083001
郑毅 1,2,*朱香平 1聂荣志 1,2,3高飞 1[ ... ]彭波 1
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子学国家重点实验室,西安 710119
2 中国科学院大学,北京 100049
3 西安交通大学 理学院,西安 710049
以铊掺杂自聚焦透镜作为光谱采集透镜,设计了一种小型可穿戴式光谱采集探头,在此基础上搭建了一种小型可穿戴式血糖喇曼光谱检测系统. 利用该系统对不同浓度的葡萄糖溶液、11只实验白鼠以及10位人体志愿者进行测试.以光谱特征峰面积作为主要计算参考,以峰强度作为辅助参考进行光谱定量分析.针对不同样本分别建立基于主导因子的非线性多变量偏最小二乘模型以计算葡萄糖水平.计算结果表明葡萄糖溶液、实验白鼠以及人体的准确度分别为98.1%、89.3%和84.4%,测试准确性得到提高. 该检测系统具有体积小、成本低、喇曼信号采集稳定、使用方便等优点,能够准确实现人体血糖的无创检测并具有较好的可重复性.
喇曼光谱 光谱仪 无创检测 血液或组织成分监测 血糖 Raman spectroscopy Spectrometers Nondestructive testing Blood or tissue constituent monitoring Blood glucose 
光子学报
2017, 46(8): 0812005
程志远 1,2,*罗秀娟 1马彩文 1张羽 1,2[ ... ]朱香平 1
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710119
2 中国科学院大学,北京 100049
为解决激光相干场成像系统探测器噪声相对总噪声的定量化占比估计问题, 分析探测器噪声是否为主要噪声源, 提出一种探测器噪声占比权重定量化分析计算方法.基于光电子统计方法得到系统信噪比方程, 并引入信噪比中间参数估计方程, 建立了探测器噪声相对总噪声的占比权重定量化计算模型.结合理论分析与实验测量进行验证, 结果表明: 针对构建的相干场成像实验系统, 探测器噪声占比权重达52%, 进一步分析可知实验在大气相对宁静的夜晚进行, 系统受背景光噪声和湍流噪声影响小, 探测器噪声是主要噪声源.所提方法可有效估算探测器噪声占比权重, 具有便捷、高效的特点, 可用于实际相干场成像系统探测器噪声定量化评估测量分析.
激光束相干 噪声分析 实验和分析研究 探测器 噪声计算 信噪比 Laser beams-coherent Noise analysis Experimental and analytical studies Detector Noise calculations SNR 
光子学报
2015, 44(4): 0407002

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