中山大学,光电子技术与材料国家重点实验室,广东,广州,510275
设计了一种用于对SiO2、Si和LiNbO3等材料进行激光焊接的吸收薄膜.这种"金属-介质-金属"的三层吸收薄膜减少了夹在透明母料之间的焊料表面对Nd:YAG激光束的反射.该设计使激光能量在实验中的实际吸收率超过99%.这种吸收膜与焊料层的结合使激光能更有效地转化为热能,减少了激光穿透母料的能量.这样也就减少了因为激光的透射而导致母料损伤的可能性,使激光能量得到更有效的利用.同时,焊接成品的力学性能也得到了有效提高.
吸收薄膜 激光焊接 光波导 光学器件 Absorptive thin films Laser welding Wave-guide Optical components MEMS MEMS
