1 江西省科学院应用物理研究所, 南昌 330029
2 清华大学精密仪器及机械学系, 北京 100084
论述了使用原子力显微镜测量超光滑光学表面的优点及其在光学领域中的重要应用, 列举了用这种方法测试得到的超光滑光学表面微轮廓图及纳米量级的微缺陷, 以及这些表面镀膜前后表面形态结构和微粗糙度的变化。 作为比较, 列举了用干涉轮廓仪测得相同表面的微粗糙度参数等。 由于原子力显微镜有三维的高精度, 而干涉方法只有一维的高精度, 所以前者可以得出表面真实形貌和微轮廓。
微轮廓 超光滑光学表面 原子力显微镜 光学测试
本文简述了各种图文影象技术的发展应用趋势，指出提取图象信息的手段绝大多数仍是人眼观察判断。因此，观察影象的主观象质评价仍是光学技术中重要的研究课题。文章综述了目视系统，摄影系统，有噪音斑点的图片，电子影象和彩色图象主观象质评价发展的概况，介绍了当前研究影象质量的一些热门方向和有价值的评价方法，并对其实用性作了评估，提出了笔者推荐使用的看法，对从事象质评价的工作者有参考价值。
