1 复旦大学物理系, 上海 200433
2 复旦大学电子工程系, 上海 200433
介绍了一种水冷、陶瓷封接结构的空心阴极放电装置.研究了He、H_2、N_2在120nm～20Onm范围内该装置的真空紫外辐射特性,获得了100～600mA电流范围内的辐射强度与放电电流的关系,以及充气气压变化对它的影响.实验表明:在实验条件下,主要发射谱线为氮的原子线和氦的离子线;辐射谱线强度在0.03～0.72mW·cm-2;气压改变时,N2、H2辐射强度有一极大值,而He的离子线辐射强度则出现二个极大;在He/H2混合气体放电时,随着He的加入,氢分子带光谱有明显下降.
真空紫外辐射 电气放电 空心阴极放电装置
用激光喇曼光谱仪测量样品的斯托克斯和反斯托克斯散射线的相对光强之比.可以得到样品表面的局部温度.温度数值直接由导出公式计算而得,无需定标.它特别适用于表面物理和集成电路新工艺开发研究.文中还就该方法的误差进行了讨论和实验修正.
用喇曼光谱的方法研究了钨-硅共溅薄膜中形成的硅化钨的特性,得到了二硅化钨的喇曼位移峰:333cm~(-1)和456cm~(-1)。实验表明喇曼光谱学方法可以实现对钨-硅薄膜中硅化钨的快速形成过程进行实时监测。
描述一个有机胶体掺杂剂的半导体硅的激光辐照掺杂方法;P型和N型两种硅单晶进行了砷、磷和硼的掺杂,并研究了掺杂区的电和光电特性。
在混合型频谱分析系统中,楔、环阵列探测器可用作光学系统和电子系统之间的连接器件,对光信号采样后输入计算机处理。我们的实验室设计和研制的这种探测器具有32个半圆环状探测器以检测径向信号32个楔形探测器以检测方位信号。该探测器在一块直径约32mm的硅片上制成,采用控制扩散过程以获得均匀的响应率和灵敏度。楔形探测器和与楔形探测器面积相当的半圆环探测器的平均响应率约为0.5mA/mW,时间常数约为150μs。若用焦距为240mm的变换透镜,光源为6328(?)的氦氖激光时,空间频率带宽可高达100周。
