1 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室, 上海 200083
2 同济大学物理系精密光学工程技术研究所, 上海 200092
3 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
介绍了组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵的基本原理和制备工艺,这是一种效率非常高的制备方法,只需N次刻蚀就可以完成2N通道窄带滤光片列阵的制备,而且可以用于制备不同波段窄带滤光片列阵。展示了可见-近红外波段32通道窄带滤光片列阵和中红外波段16通道窄带滤光片列阵的实验结果,其中32通道窄带滤光片列阵的带通峰位基本呈线性分布在774.7～814.2 nm之间,所有滤光片的半峰全宽都非常窄(δλ<1.5 nm),相应于δλ/λ<0.2％,半峰全宽最窄的滤光片达到0.8 nm,相应于δλ/λ<0.1％,其带通峰位λ=794.3 nm;各通道的带通透过率在21.2%～32.4%之间,大部分在30%左右。
光学器件 滤光片 集成 组合刻蚀法 列阵 制备
中国科学院上海技术物理研究所第八研究室,上海,200083
利用组合刻蚀法布里珀罗(F-P)干涉滤光片的谐振腔间隔层的方法,制备了集成在一个基片上的8通道中波红外(λ0=2.8 μm)窄带滤光片,通道线宽为0.7 mm,光谱通道定位精度优于1%,各通道相对半峰宽为1%.此法有效提高了成品率,并可满足实现通道数更多,集成度更高的滤光器件发展的需求.
光学薄膜 集成滤光片 多通道滤光器 微型滤光片 Optical films Integrated filter Multi channel filters Micro filter
中国科学院上海技术物理研究所,光学薄膜与材料研究室,上海,200083
红外、可见光分色片对成像光谱技术起着至关重要的作用,应用诱导增透概念设计宽光谱分色片,并在薄膜制备过程中,采用了光学控制结合晶体振荡控制的方法获得了符合实用要求的红外/可见分色片,其400nm～900nm范围45度入射光透过率大于80%,在1325nm～13000nm平均反射率大于90%,其光谱特性在已报道过的同类分色片中位于前沿.
光学薄膜 分色片 诱导增透 optical thin film color separation filter induced transmission
