1 中国卫星海上测控部, 江苏 江阴 214431
2 飞行器海上测量与控制联合实验室, 江苏 江阴 214431
3 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
4 吉林大学 生物与农业工程学院, 吉林 长春 130000
针对传统三角形星图识别算法的不足, 本文提出了一种不依赖星等信息的全天球自主快速三角形识别算法。通过构建三角形最大内角及其两边作为匹配特征三角形, 建立了全天球导航特征库, 对生成的特征库按最大内角值构造散列函数, 并分块存储。识别过程中, 采用“边-角-边”原理进行匹配。首先, 根据最大内角的观测值实现子块的快速定位, 然后, 在子块中对观测三角形的两边进行星角距快速匹配, 缩小了角距匹配的范围, 提高了识别速度。试验表明, 星点位置噪声低于2个像元时, 识别率优于98.08%; 观测星数等于10颗, 特征库分块总数为1 024时, 平均识别时间为13.1 ms。与现有三角形识别算法相比, 该算法在识别速度、识别率及抗星等噪声能力等方面具有明显优势。
星敏感器 星图识别 三角形算法 特征三角形 star sensor star identification triangle algorithm feature triangle
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033
2 中国科学院大学，北京 101408
3 吉林大学 生物与农业工程学院，吉林 长春 130022
介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展，总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小，测量分辨率和精度较高，结构紧凑，成本低。该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度; 寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等。光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度，大量程、多维度测量以及尺寸小巧。该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景。
位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 displacement measurement grating diffraction interference high precision
1 重庆邮电大学光电工程学院,重庆,400065
2 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
3 北京机械工业学院机械工程系,北京,100085
采用光学发射光谱(OES)原位检测技术,对等离子体刻蚀机中的等离子体状态进行实时监控,讨论了其在故障诊断、分类、刻蚀终点的判断及控制方面的应用.实验平台为在新研发的高密度等离子体刻蚀机,采用化学气体HBr/Cl2为刻蚀气体进行多晶硅刻蚀工艺实验,实验过程中所采集的OES数据通过PCA法进行分析,得到与刻蚀过程相关的特征谱线.实验结果表明:OES技术适合于深亚微米等离子体刻蚀工艺过程的终点检测及故障诊断.最后就OES技术未来发展面临的挑战进行了讨论.
等离子体刻蚀 故障诊断 终点检测 OES
