作者单位
摘要
1 中国科学院光电研究院, 北京 100094
2 中国科学院大学, 北京 100049
基于光电成像器件CCD的点目标定位技术被广泛运用于天文定位、侦察等民用及军用方面。传统点目标定位精度一般为亚像素级, 受CCD自身成像误差限制, 目标定位精度难以大幅提高。提出通过干涉条纹对CCD进行标定, 从而得到CCD频域像素响应函数的精确表达式, 由此重构高质量的目标入射光场图像, 进而提高光电成像系统对点目标定位的精度。首先建立了干涉条纹标定CCD及目标光场图像重构的理想模型, 并通过仿真验证了点目标图像重构效果以及最终点目标的定位精度。仿真结果表明, 经干涉条纹标定CCD后, 重构的目标光场图像质量得到大幅度的提升, 接近于CCD像面前入射光场图像, 通过高斯曲面拟合得到点目标形心坐标及其微位移的提取精度均达微像素级别, 相比于传统的亚像素定位, 定位精度得到了大幅度的提高。
形心定位 CCD标定 图像重构 微像素 高斯曲面拟合 centroid positioning CCD calibration image reconstruction micropixel Gaussian quadrics fitting 
半导体光电
2018, 39(5): 722
作者单位
摘要
中国科学院光电研究院, 北京 100094
从Smoluchowski方程和Nernst-Planck方程出发, 推导出负极化纳米悬浊液中有效折射率与光强呈e指数关系, 提出了利用Airy光束在负极化纳米悬浊液中诱导弯曲波导, 分析了所诱导的波导结构的波导尺寸。由于负极化纳米悬浮液的饱和非线性, 所诱导弯曲波导结构可以非常稳定。为了验证所提方法, 数值仿真模拟了不同Airy光束在负极化纳米悬浊液中诱导的弯曲波导, 讨论了波导性质与诱导光束和负极化纳米悬浊液参数之间的关系。结果表明, 通过控制入射Airy光束的传播行为, 综合考虑选取合适的诱导光束和负极化纳米悬浊液, 能够实现诱导不同尺寸的弯曲波导。研究结果为在介质中建立波导结构提供了一种新的途径, 所提方法在实际中有潜在的应用价值, 特别是在光束相干合成、光子集成、光学操纵等领域。
非线性光学 弯曲体波导 纳米悬浊液 Airy光束 
激光与光电子学进展
2018, 55(10): 101901
作者单位
摘要
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室, 北京 100081
针对极紫外光刻照明系统光能利用率低的问题,设计了一套高光能利用率极紫外光刻波纹板照明系统。该系统中波纹板面形采用柱面镜阵列,降低了加工难度;并且根据波纹板反射光线的特性,确定了由修正型复合抛物面聚光镜与二次曲面反射镜组作为中继镜组的结构。整个系统仅采用四片反射镜且其中两片反射镜为掠入射,与传统的极紫外光刻照明系统相比,有效地提高了系统的光能利用率。对一套数值孔径0.33 的极紫外光刻投影物镜,给出了与之相匹配的波纹板照明系统设计实例。仿真结果表明,系统的光能利用率可达39.7%,掩模上弧形照明区域扫描方向的积分不均匀度小于2.7%,验证了该设计的可行性和有效性。
光学设计 波纹板照明系统 反射系统 极紫外光刻 
光学学报
2015, 35(3): 0322005

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