硅基光电集成技术是当代高速信息化的重要发展方向之一。为了研究制备在硅衬底上的新型发光材料，突破Nd∶YAG固体激光工作物质主要是晶体、透明陶瓷等固体形态的限制，采用电子束蒸发沉积工艺，在硅(100)衬底上制备了Nd∶YAG薄膜，并对Nd∶YAG薄膜的表面形貌、晶体结构、光学特性进行了测试。X射线和扫描电子显微镜测试结果显示，Nd∶YAG薄膜经1100℃真空高温退火处理1h后有效结晶，采用钛蓝宝石激光器输出808nm激光激发，液氮冷却的InGaAs阵列探测器室温下得到Nd∶YAG薄膜的1064nm主荧光峰的荧光光谱。结果表明，采用电子束蒸发沉积和后续高温退火工艺可以在硅衬底上制备Nd∶YAG晶体薄膜。

激光诱导荧光(LIF)检测作为目前灵敏度最高的检测技术之一,在生物、化学、医学等领域应用广泛,其本身的技术发展也十分迅速。综述了近年来LIF检测系统、荧光探针、荧光分析技术和应用领域的进展,重点介绍了LIF激光光源、光纤光路LIF系统、多通道LIF系统以及LIF成像的最新进展和应用前景。