三维结构GaN基LED能够解决二维GaN基薄膜LED中存在的量子限制斯塔克效应、效率骤降、发光波长单一等问题。基于此, 本文对三维类金字塔状GaN微米锥的发光性能进行了详细的研究。通过金属有机化合物化学气相沉积原位沉积SiNx掩模层后, 首先制备了底面尺寸为8 μm、高度7.5 μm的类金字塔状GaN微米锥, 之后在其半极性面外延生长了3个周期的InGaN/GaN多量子阱。通过阴极荧光测试发现, 类金字塔状GaN微米锥的半极性面上不同位置发光波长不同; 变功率微区光致发光测试表明, 类金字塔状GaN微米锥的半极性面在InGaN/GaN多量子阱沉积之后极化场较弱; 对InGaN/GaN多量子阱进行了透射电镜表征, 结合阴极荧光光谱的结果最终解释了In原子在类金字塔状GaN微米锥上的迁移机理。利用其半极性面不同位置发光波长不同的结构特点及光学特性, 可以制备多波长发射LED。