王姗姗 1石峰 2,*乔硕 2徐博文 1[ ... ]彭星 2
作者单位
摘要
1 北京理工大学 光电学院,精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京 100081
2 国防科技大学 智能科学学院,长沙 410073
3 长春理工大学 光电工程学院,长春 130022
针对基于强光元件高精度面形在位检测需求,开展了面形测量误差敏感因素仿真分析,进行了系统结构误差和温度误差对测量结果的影响研究,分析各类误差对测量面形误差的具体影响,设计并搭建在位检测系统,开展系统温度变化、系统重复性、系统稳定性等测量实验。研究结果表明:所建立的逆向哈特曼仿真检测模型可用于平面、球面、非球面、自由曲面等各类型被测面,各类影响因素对测量结果的影响主要体现在低频误差上,对高频误差的影响相对较小,搭建的在位检测系统6 h内测量面形误差PV值最大不超过68 nm(约λ/10),RMS值最大不超过15 nm(约λ/40)。
面形测量 在位检测 强光元件 误差分析 仿真模型 shape measurement in-situ measurement optical element error analysis simulation model 
强激光与粒子束
2023, 35(9): 091002
作者单位
摘要
1 重庆大学 微电子与通信工程学院,重庆400044
2 安徽大学 物质科学与信息技术研究院,安徽合肥30039
从极少量的测量值中有效且高概率高质量恢复出原始信号是压缩感知图像重建研究的核心问题,学者们相继提出了传统和基于深度学习的压缩感知图像重建算法,传统算法通常基于优化模型迭代求解,重建质量和重建速度都无法保证;基于深度学习的算法重建质量相对较高,但缺乏物理可解释性。受滤波流的启发,本文提出了联合全局与局部的深度压缩感知图像重建模型(G2LNet),其以卷积层执行压缩采样以及初始重建过程,利用快速傅里叶卷积与滤波流,同时考虑了图像全局上下文信息和图像像素局部邻域信息,联合学习优化测量矩阵与滤波流,建立了完整的端到端可训练的深度图像压缩感知重建网络。经实验验证,在压缩感知图像重建领域常用的Set5,Set11,BSD68测试集上取得了良好的重建效果,在采样率为20%的情况下,G2LNet的图像重建质量相比于经典的传统算法MH与基于深度学习的算法CSNet的平均PSNR分别提高了2.29 dB,0.51 dB,有效提升了重建图像质量。
压缩感知 图像重建 快速傅里叶卷积 滤波流 深度神经网络 compressive sensing image reconstruction fast Fourier convolution filter flow deep neural network 
光学 精密工程
2023, 31(14): 2135
石峰 1乔硕 1邓明杰 1宋辞 1[ ... ]申箫 1
作者单位
摘要
1 国防科技大学 智能科学学院,湖南 长沙 410073
2 北京理工大学 光电学院,北京 100081
3 合肥知常光电科技有限公司,安徽 合肥 230000
针对现有小尺寸集群损伤修复及检测技术仍不完善的问题,重点研究亚表面缺陷多模态原位检测方法,从损伤样件表面损伤数量和尺寸、典型小尺寸损伤的形貌、光热吸收、荧光面积等多项指标进行了系统测量和分析,并开展了磁流变修复研究。研究结果表明:熔石英小尺寸损伤内部的吸收性杂质是影响元件性能的主要因素,在磁流变缎带接触到损伤底部前,损伤的整体吸收和荧光分布呈上升趋势;高重频激光对磁流变修复后的损伤辐照过程是一个由慢变快、由杂质到本体、由边缘逐渐向外扩张的过程,能够有效对磁流变修复后的表面进一步起到修复作用,可作为组合修复工艺的第三道工序。研究结果对光学元件检测表征体系的构建提供参考。
光学工程 熔石英 集群损伤 损伤修复 多模态检测 optical engineering fused silica cluster damage damage mitigation multi-modal detection 
红外与激光工程
2022, 51(9): 20220539
韩路路 1,2,3,4吴倩楠 1,3,4,5王姗姗 1,2,3,4范丽娜 1,3,4,6李孟委 1,2,3,4
作者单位
摘要
1 中北大学 南通智能光机电研究院, 江苏 南通 226000
2 中北大学 仪器与电子学院, 太原 030051
3 中北大学 前沿交叉科学研究院, 太原 030051
4 中北大学 微系统集成研究中心, 太原 030051
5 中北大学 理学院, 太原 030051
6 中北大学 信息与通信工程学院, 太原 030051
为了有效解决信号/频谱分析仪等微波测试仪器尺寸较大、信号损耗高、选通切换效率差等问题, 将射频MEMS开关引入交指型可切换滤波器结构中。通过MEMS四掷开关选择具有不同中心频率的交指型谐振器, 实现在6~14 GHz内四个频率的射频信号切换过滤。利用HFSS电磁波仿真软件对滤波结构的几何参数进行优化计算, 得到四个可切换频率的插入损耗, 分别为1.26 dB @6.86 GHz、1.03 dB @9.16 GHz、1.23dB @11.78 GHz、1.07 dB @12.26 GHz, 整体面积约为7.95 mm3。与其他可切换滤波器相比, 该可切换滤波器将MEMS四掷开关与交指型谐振器集成到一起, 具有低插损、小尺寸、高集成度等优点。
微机电系统开关 可切换滤波器 交指型谐振器 带通滤波器 MEMS switch switchable filter interdigital resonator bandpass filter 
微电子学
2021, 51(1): 106
范丽娜 1,2,3,4吴倩楠 1,3,4,5王姗姗 1,3,6,7韩路路 1,3,6,7[ ... ]李孟委 1,3,6,7
作者单位
摘要
1 中北大学 南通智能光机电研究院, 江苏 南通 226000
2 中北大学 信息与通信工程学院, 太原 030051
3 中北大学 前沿交叉科学研究院, 太原 030051
4 中北大学 微系统集成研究中心, 太原 030051
5 中北大学 理学院, 太原 030051
6 4. 中北大学 微系统集成研究中心, 太原 030051
7 中北大学 仪器与电子学院, 太原 030051
针对MEMS单刀多掷(SPMT)开关插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于雪花型功分器的单刀五掷(SP5T)MEMS开关,通过雪花型功分器实现信号的均衡分配和低损耗传输。通过设计H形上电极结构,有效减小开关弱接触,增强开关接触稳定性,实现信号的高隔离。采用HFSS仿真软件,对开关的插入损耗、隔离、驱动电压和应力分布进行了设计,并结合COMSOL软件对开关进行了机械性能分析。结果表明,在1~20 GHz频段内,五个端口插入损耗在02 dB@20 GHz以下,隔离度在23 dB @20 GHz以上,驱动电压为24 V。这些指标均优于常规SPMT开关。该SP5T MEMS开关可应用于多任务、多通道可调谐器件中,在无线通信、微波测试系统中具有应用价值。
单刀五掷开关 雪花型功分器 高隔离 低插损 single pole five throw switch MEMS MEMS snowflake power divider high isolation low insertion loss 
微电子学
2021, 51(4): 533
王姗姗 1,2,3,4吴倩楠 1,3,4,5韩路路 1,2,3,4范丽娜 1,3,4,6李孟委 1,2,3,4
作者单位
摘要
1 中北大学 南通智能光机电研究院, 江苏 南通 226000
2 中北大学 仪器与电子学院, 太原 030051
3 中北大学 前沿交叉科学研究院, 太原 030051
4 中北大学 微系统集成研究中心, 太原 030051
5 中北大学 理学院, 太原 030051
6 中北大学 信息与通信工程学院, 太原 030051
通过短路-开路-负载-直通(SOLT)校准原理与MEMS开关结合,设计了一种小型化多功能电子校准件。仿真结果表明,在01~20 GHz频段内,该电子校准件的双端口校准仅需2步;直通状态插入损耗≤09 dB,开路状态回波损耗≤048 dB,短路状态回波损耗≤039 dB。整体尺寸为25 mm×12 mm×08 mm。该MEMS电子校准件体积小,损耗低,成本低,校准准确度高,效率高,适用于毫米波测量和小型智能化校准领域。
电子校准件 单刀四掷 MEMS MEMS electronic calibration kit SP4T SOLT SOLT 
微电子学
2021, 51(4): 494
韩路路 1,2,3,4吴倩楠 1,3,4,5余建刚 1,2,3,4王姗姗 1,2,3,4[ ... ]李孟委 1,2,3,4
作者单位
摘要
1 中北大学 南通智能光机电研究院, 江苏 南通 226000
2 中北大学 仪器与电子学院, 太原 030051
3 中北大学 前沿交叉科学研究院, 太原 030051
4 中北大学 微系统集成研究中心, 太原 030051
5 中北大学 理学院, 太原 030051
针对卫星通信、电子对抗及微波测试系统对开关提出的宽带宽、低插损、低功耗的应用需求, 设计了一种K~D波段宽带射频MEMS开关。通过优化衬底材料和十字型上电极结构提高开关的带宽, 降低开关的损耗。利用HFSS电磁波仿真软件对开关的几何参数进行优化计算。结果表明, 所设计的射频MEMS开关可工作在18~188 GHz的频带内, 且插入损耗小于147 dB, 隔离度大于2012 dB, 其整体体积约为075 mm3。此开关可与移相器、延时器、谐振器等结构集成, 实现宽带且低损耗的射频可重构MEMS器件及系统, 可用于新一代通信及微波测试等领域。
宽带 射频MEMS开关 插入损耗 隔离度 可重构 broadband RF MEMS switch insertion loss isolation reconfigurabl 
微电子学
2021, 51(6): 894
作者单位
摘要
1 中国海洋大学信息科学与工程学院光学光电子实验室,山东 青岛 266100
2 东莞理工学院电子工程与智能化学院,广东 东莞 523808
3 西安交通大学物理学院,陕西 西安 710049

微光纤是直径在微米量级的一种新型光纤,近年来得到了人们的广泛关注。首先,介绍了微光纤的传感原理、导波特性及传播常数的计算方法,并总结了可以估算干涉型微光纤传感器灵敏度的通用表达式。然后,介绍了微光纤的常用制备方法及典型干涉型微光纤传感器件,如微光纤环形谐振腔、微光纤方向耦合器、微光纤同轴马赫-曾德尔干涉仪(MZI)在海水温盐压传感探测中的应用,并重点介绍了微光纤同轴MZI的封装方法、环境适应性和响应时间。最后,对目前研究中存在的问题及未来发展趋势进行了总结及展望。

光纤光学 传感器 光纤传感器 微光纤 海水温盐压传感 
激光与光电子学进展
2021, 58(13): 1306015
作者单位
摘要
中国海洋大学 物理系, 山东 青岛 266100
应力发光是某些材料受到机械刺激时产生的发光现象。许多固体材料在压裂过程中会产生应力发光, 但这种破坏性发光限制了材料的实际应用。可再生应力发光的发现为应力发光材料创造了解决现实问题的机会, 其在结构健康诊断、力驱动的新型光源和显示器件以及生物力学应力传感器等领域展现出广泛的应用前景。本文对近二十年来无机可再生应力发光材料的研究进展进行了梳理和总结, 主要介绍无机可再生应力发光材料的分类、表征、机理和应用四个方面, 并讨论了未来研究中所面临的机遇和挑战, 以期对该类材料的研发及应用提供有意义的启示。
应力 传感器 应力发光 应力分布 应力成像 stress sensor mechanoluminescence stress distribution stress imaging 
发光学报
2021, 42(4): 404
邢阳光 1,2,3李林 1,*彭吉龙 2,**王姗姗 1,***成一诺 4
作者单位
摘要
1 北京理工大学光电学院, 北京 100081
2 北京卫星环境工程研究所, 北京 100094
3 可靠性与环境工程技术国家重点实验室, 北京 100094
4 清华大学精密仪器系, 北京 100091
对太阳进行光谱成像观测是太阳物理和空间天气研究的重要数据来源。在极紫外波段对动态的太阳大气进行光谱成像观测面临着严峻挑战。传统的狭缝式成像光谱仪受瞬时视场的限制,必须通过耗时的推扫才能获取二维日面图像,系统不具有高时间分辨率,无法捕获太阳过渡区域和日冕的快速演化过程。尽管极紫外成像仪能够实现大二维视场和高时间分辨率的观测,但却无法获取光谱分辨率信息。本文基于像差校正的椭球面变线距光栅,提出了一款新型无狭缝成像光谱仪,该系统同时工作在三个光栅衍射级次(m=-1,0,1)上,这样的新颖设计不需要任何元件的机械运动,单次快照便可同时获得三幅视场为20 arcmin×20 arcmin的极紫外窄波段(29.4~31.4 nm)太阳日面图像,该仪器的时间分辨率高且视场大。不发生色散的0级次系统相当于一台极紫外成像仪,可以直接获得高分辨率空间信息(0.6 arcsec);发生色散的±1级次图像携带有空间和光谱的混叠信息,类似于计算层析成像原理。通过数据反演算法,可以从三个级次的图像中提取高分辨率的光谱信息(0.0035 nm)。
光谱学 太阳极紫外 无狭缝 成像光谱仪 椭球面变线距光栅 
光学学报
2021, 41(7): 0730003

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