作者单位
摘要
中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
针对自由曲面微小透镜检测中无法同时高精度检测前后表面的问题,提出一种基于光学偏折的微小透镜前后曲面同步测量方法。该方法基于高精度的透射波前检测系统建立理想光线追迹模型,并在利用光学偏折高精度测得的含有被测微小透镜面形信息的透射波前像差基础上,以被测微小透镜的前后两个曲面为优化变量,进行数值迭代优化求解,最终基于优化结果重构出被测微小透镜各表面面形误差。对所提出的面形测量方法进行仿真与实验验证,并通过Zygo干涉仪进行比对实验,结果显示对于口径为6 mm的微小透镜,所提方法的检测结果与比对实验的检测结果高度一致,面形偏差的均方根误差值仅为几十纳米。
测量 透射元件 自由曲面面形检测 光学偏折技术 微小透镜 
光学学报
2023, 43(10): 1012004
作者单位
摘要
1 浙江大学光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
2 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
熔融石英光学元件的亚表面缺陷直接影响着其成像质量及激光损伤阈值等指标。相比缺陷的二维截面大小以及深度信息,亚表面缺陷三维轮廓及缺陷体积的定量检测结果可以用来更准确地评估熔融石英光学元件的加工质量。结合共聚焦显微镜的成像原理,使用共聚焦显微镜进行了熔融石英样品层析扫描实验。通过对亚表面缺陷图像特点的分析,提出了适用熔融石英元件亚表面缺陷的三维重建算法。提出的算法在亚表面缺陷重建效率与精度上均优于其他三维重建方法。根据重建后缺陷的统计结果,定量获得了熔融石英样品亚表面缺陷的完整三维信息。
材料 熔融石英 亚表面缺陷 三维重建 激光共聚焦显微镜 
光学学报
2020, 40(2): 0216001
常颖 1,1; 王狮凌 2
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
设计了一块球面-非球面柱透镜,用于将高斯圆斑整形为平顶线斑。通过编写Zemax编程语言批量添加操作数与设置默认优化函数优化结合的方法完成设计,并与性能参数相同的非球面透镜-柱透镜组进行比较,同时分析了球面-非球面柱透镜最后一面到像面距离的不同对线斑长宽比和平顶度的影响。与非球面透镜-柱透镜组相比,线斑尺寸相同但平顶度一般(边缘处约下降10%),在一定范围内调整最后一面到像面的距离可使平顶度变好(可达到90%),但会使长宽比变小(由88.33降至20.38)。所得结果表明,若要获得能量均匀分布的线斑,在长宽比可调整的范围内,球面-非球面柱透镜的设计可以简化光束整形系统结构,满足轻量化的要求,是一种可行的方法。
几何光学 激光光束整形 非球面透镜设计 非成像光学系统 
激光与光电子学进展
2018, 55(6): 060801
作者单位
摘要
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
大功率激光器在工业与**等领域有着广泛的应用, 是现代激光材料加工、激光再制造、**安全领域中必不可少的核心组件。随着激光技术的发展, 大功率激光器的性能也在不断提高, 许多新型激光器相继问世。相比于传统的灯抽运激光器, 半导体激光器具有体积小、效率高、质量轻、寿命长、成本低等诸多优点,在国民经济的许多方面起着越来越重要的作用。随着大功率半导体激光器的不断发展, 由其抽运的全固态和非全固态激光器的发展也十分迅速。综述了半导体激光器以及全固态和非全固态半导体抽运激光器的历史和进展, 并就提升大功率半导体激光器各方面性能做了相关介绍, 分析评述了大功率激光器的发展趋势, 并展望了大功率激光器在未来智能制造中的应用前景。
激光器 半导体激光器 全固态激光器 光纤激光器 碱金属蒸气激光器 
激光与光电子学进展
2017, 54(9): 090005

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