作者单位
摘要
天津大学微电子学院, 天津 300072
在理想理论模型中引入了包含残余应力的等效弹性常数, 建立了二氧化硅的半无限大残余应力理论计算模型。研究了残余应力对激光激发超声表面波检测二氧化硅体材料杨氏模量的影响, 并提出了误差判断依据。结果表明, 当二氧化硅体材料的残余压应力小于900 MPa时, 相对误差小于5%, 残余应力的影响可以忽略; 当残余压应力大于900 MPa时, 相对误差大于5%, 此时应考虑残余应力的影响。
测量 无损检测 残余应力 激光激发超声表面波技术 杨氏模量 二氧化硅体材料 
激光与光电子学进展
2017, 54(12): 121202

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