开展了波长分别为1 064 nm、532 nm和416 nm, 脉宽均为5 ns的单脉冲激光损伤CCD的实验, 观测并比较了不同损伤阶段三种波长激光各自损伤CCD的视频图像、微观形貌、阈值和芯片引脚的电阻阻值, 分析了CCD的损伤机理。在532 nm和416 nm激光所损伤CCD视频输出图像中发现了并未出现在1 064 nm激光所损伤CCD视频输出图像中的黑点现象; CCD发生损伤时, 微透镜层的损伤状况随辐照激光波长减小而愈加严重; 1 064 nm激光损伤CCD的阈值最高, 532 nm和416 nm激光损伤CCD的阈值相近。与未损伤的CCD相比, 完全失效CCD的基底与垂直移位寄存器的电阻、垂直移位寄存器间的电阻明显下降, 由此推断, 基底与多晶硅电极的短路或多晶硅电极间的短路是造成CCD白屏的主要原因。