1 芜湖赛宝信息产业技术研究院有限公司，芜湖 241002
2 安徽赛宝工业技术研究院有限公司，合肥 230088
3 工业和信息化部电子第五研究所，广州 511370
本文研究了退火温度对用水基溶胶-凝胶工艺在LaAlO3 (100) 单晶衬底上沉积的YBCO 薄膜性能的影响。研究发现，随着温度的升高，薄膜的面内取向得到了优化，而薄膜的面外取向则不然。在 789 ℃退火的YBCO薄膜在77 K和0 T条件下的临界电流密度Jc达到了1.7 MA/cm2。而其他温度退火的薄膜的缺陷可能会导致YBCO超导电性变差。然而，这些薄膜中存在的残余应力应变也有助于增强其钉扎力并改善薄膜外加场下的电性能。
水基溶胶-凝胶 退火温度 临界电流密度 缺陷 超导性 water-based sol-gel annealing temperature YBCO YBCO critical current density defect superconductivity
1 蚌埠投资集团有限公司，蚌埠 233000
2 合肥工业大学化学与化工学院，合肥 230009
3 工业和信息化部电子第五研究所，广州 510610
将乙酸盐溶解在丙酸中获得无氟的前驱溶液，利用化学溶液沉积(CSD)法在LaAlO3(LAO)(100)单晶衬底上外延生长出GdBa2Cu3O7-x(GdBCO)超导薄膜。研究了不同退火温度下获得的薄膜的物相、取向、形貌以及超导电性。结果表明：在817 ℃下合成的GdBCO薄膜具有很好的双轴取向，其超导转变温度(Tc)为92.5 K；在77 K和自磁场下，临界电流密度(Jc)达到1.33 MA/cm2。
超导薄膜 乙酸盐 化学溶液沉积(CSD) GdBa2Cu3O7-x GdBCO superconducting film acetate chemical solution deposition(CSD)
